内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究的论文.pdfVIP

内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究 金凡亚，王珂，赵嘉学，沈丽如，陈庆川，童洪辉 (核工业西南物理研究院，四川成都610041) 摘要：介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统。利用此系统沉积TiN涂层的结果表明， mm×1000mm 4,100 316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀，且具有较好的表面特性和机械特性。 关键词：等离子体增强化学气相沉积；管状样品；内表面 中图分类号：TB43；TB34文献标识码：A 文章编号：0254-6051(2008)-0093-03 PECVDfor theinnersurfaceoftube systemtreating sample JIN Ke，ZHAOJia—xue，SHENLi—ru，CHENQing—chuan，TONGHong—hui Fan—ya，WANG Instituteof Sichu