太阳能级硅高效放电电解复合切割制绒一体化研究的论文.pdfVIP

太阳能级硅高效放电电解复合切割 制绒一体化研究 刘志东 邱明波 汪炜 田宗军 黄因慧 南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016 摘要：提出了一种基于复合工作液的以电火花电解复合加工技术对太阳能级硅进行切割及制绒一体化的新方法。 试验表明高速走丝电火花线切割(HSWEDM)对太阳能级硅切割具有效率高、厚度薄、切缝窄、表面可直接形 成绒面结构，表面无明显微裂纹且获得的绒面表面反射率在全光谱波段内具有较低的光反射率特征。该工艺方法 为探索缩短太阳能电池制造流程，降低硅片切割成本，提高硅材料利用率，促使硅太阳能电池成本的显著降低， 并形成具有我国自主知识产权的太阳能级硅片切割制绒一体化技术提供了理论及实践依据，为我国电火花线切割 应用的拓展开拓了新领域。 关键词：太阳能硅片；电火花；电解；切割制绒一体化；复合工作液 茜形成凹板腮进 在 夹 具 上 安 排 ．及接触势垒，{ 毫导电能力的工一 受涂覆的碳浆因： }， 切 缝 宽 度 = 迂低放 电能量条 瞧硅片切割过秸 柑—r‘__Ll：nd-dJ一__r 复合切割硅片对降fl 发减反射膜的条件] 割绒的晶硅太阳能E 坑大小在一定范围I KpH雕饿片阳向 孽降低。 l可以在太阳能l ＆阳能硅片切割。 仁的一致性和合． 片 切 割 的HSW ResearchonCompoundEDMECMCuttingIntegratingwith TexturingonSolarWafer LiuZhidongQiuMingboWangweiTianZongjunHuangYinhui Abstract:Anewtechnologycuttingwithsynchronizingtexturingonsolarwaferisresearched,whichisbasedon complexdielectricfluidandusingcompoundelectricdischargemachining(EDM)andelectrochemicalmachining(ECM) technique.Theresultsshowthatwirecutelectricdischargemachiningwithhightravelingspeed(HSWEDM)processon solarwaferhashighefficiency,thinthickness,narrowcuttinggapandformingtexturizationonsurfacedirectly,aswellas fewornosurfacemicro-cracksandthereflectivityoftexturizationhasalowreflectioncharacteristicinfullrange spectrum.Thetechniquegivesapotentialwaytocutthefabricationprocessesofsolarcell,reducingsiliconcutcostsand improvingutilizationofsilicon,reducingthecostofmanufacturesignificantly,anditprovidesatheoreticalandpractical basisonChinasindependentintellectualpropertyofWEDMandetchingintegrationtechnologyforsolar-gradesilicon machining,extendnewfieldsforChinasWEDMapplications Keywords:solarwafer;EDM;ECM;cuttingwithsynchronizingtexturing;complexdieiectricfluid