基于ZnO半导体纳米线的声表面波小波紫外探测器.pdfVIP

第十六一金田化奢物牛曩-体．做渡I●件和光电晨l件学术寺戗 投稿分类号：OED 基于ZnO半导体纳米线的声表面波小波紫外探测器 彭文博1，文常保2，贺永宁1 (II}Ii安交通大学电子与信息丁程学院，西安710049； 2长安大学电子与控制f程学院，西安710064) 摘要：随着对声表面波器件的小断深入研究．人们提出r用声表面波器件作为高明敏度传感器的构想。基于ZnO半导体纳米线 对紫外光良好的紫外光电效麻，我们提出r一种将ZnO纳米线和声表面波滤波器结构结合起来的商精度紫外探测器。这种紫外 探测器是通过在以128。YX-LiNbOJ为捶底的卢表面波滤波器传输卢路上涂覆层ZnO纳米线紫外敏媾膜制备I叮成。声表面波滤 波器的中心频率为50．882MHz．涂膜后的声表面波滤波器与一个紫外光源和一台网络分析仪构成J，整个紫外探测器的测试系统。 实验测试结粜表明，在波K分别为365nm和254nm的紫外光照射下，紫外探测器的频移最大可达到3Ⅺ{z，响应时间小于lOs， 霞复特性较好。研究结果疆示r荩_}_