基于探针的微纳米力学检测系统及其应用研究.pdfVIP

基于探针的微纳米力学检测系统及其应用研究’ 苏东川 李喜德 (清华大学航天航空学院，100084) 摘要随着微纳米力学的快速发展，微尺度材料与结构的力学性能成为力学研究的重点和热 点问题之一．探针系统由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点。适用于微纳米尺度 材料和结构的力学性能检测，并成为目前最有效的微纳米力学检测系统之一．例如原子力 显微镜(A?34)就是一个典型的悬臂探针测试系统，它利用AFM探针进行加载和测量．但是 由于微纳米尺度实验检测中特殊的夹持、加载与变形测量要求，常规用于观察和轮廓成像 的商用AFM系统不能很好的满足这一要求。本文提出一种基于^FM探针和分离控制试样平 台的的微纳米尺度力学检测系统．该系统利用AFM振针单元的高灵敏度微力和位移测量单 元，以及采用多层级标定的压电陶瓷试件加载平台，实现了微纳米试件的刚度以及微变形 检测，并从硬件上实现了试件与探针系统的解耦变形检测． 关键词：微纳米力学，^刚，探针。耦合作用 一、引言 近年来．随着微机电系统(MEMS)的快速发展，材料与结构微型化趋势越