一种新型结构压电泵研究.pdfVIP

2006微电机行业大型系列活动——企业产品国际化与微电机技术论坛 一种新型结构压电泵的研究 焦小卫黄卫清赵淳生 (南京航空航天大学超声电机研究中心南京210016) ResearchonaNew ofPiezoelectric Type Pump JiaoXiaowei Zhao HuangWeiqing Chunsheng CenterofUItrasonic (Research Motors,NUAA，Nanjing210016,China) 摘要：压电泵是近年来发展起来的一种新型流体泵，是一种利用逆压电效应工作的新型驱动器。 本文介绍了一种新型结构的压电泵。该泵由两片双压电晶体元件驱动，在进水口和出水口分别采用 单向阈和锥形收缩管／扩张管，可以实现自吸。通过理论和实验分析了该泵的工作性能。 关键词：压电泵；双压电晶片元件；单向阀；扩张管／收缩管 Abstract：Piezoelectricanew is fluidic inrecent isanew actuator pump type pumpdevelopedyears．It type piezoelectric basedon effect．A isintroducedinthis isactuatedtwo anti-piezoelectricnc、Ⅳtypepiezoelectric pump paper．Thepump by diffuser／nozzleandacheckvalveare atinletoutlet it啪be bimorphs．Acone-shaped and able adopted respectively．Then to itself,the ofthe is andtested． prime performancepumpanalyzed valve；diffuser／nozzle Keywords：piezoelectricpump；bimorph；check 1引言 传统意义上的泵一般是由电磁电机驱动 无电磁干扰，可根据施加电压或频率控制输出 的，它的发明和发展已经有了悠久的历史，无论 微小流量等等，尽管它的发明与发展仅20多年 在理论上、设计方法或制造技术上，它已达到 的历史，但在航空航天器、机器人、汽车、医 十分完善的程度，但受工作原理和结构的限制， 疗器械、生物基因工程、微型机械等领域里得 如需要附加驱动电机、体积较大、受电磁干扰、 到成功的应用。 不易控制微小流量等缺点，因而它难以满足当 迄今为止，国内外各个研究机构已经研制 前宇宙飞船、人造卫星、飞机、汽车、机器人、 出了各种不同类型的压电泵n棚。本文提出的压 精密仪器及其它微机电系统的应用需求。为此， 电泵分别带有单向阀和收缩管／扩张管，由两片 世界各国都