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低本底计数离子一电子转换离子探测单元的设计
翟利华,张子斌,韦冠一,邓虎,王长海
(两北棱技术研究所,陕两西安710024)
Design
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ESA
Keywerds:blankcount;SEM
在檄光共振电离质谱(LRIMS)系统中,低本底计数的离子探测是实现超高灵敏度测
量的重要方面【”。为降低质量分析器(磁、屯职聚焦)后可能存在的散射离于、中性粒子、
电子以及光子对离子计数本底的影响,设计了带有离子.电子转换靶和电子偏转的电子倍增
器接收单元。
1结构设计与安装
该离子探测单元主要由离子偏转板/靶、
电子偏转ESA及电子倍增器三部分组成。
离子穿过屏蔽板后,被离子偏转板,靶吸引井
轰击靶表面,由靶上发射的二次电子再被引
A小型ESA最后进入电子倍增器(SEM)。
电子倍增器的输山用模拟或训数法测量。
1.1离子光学仿真
采用SIMION7.0软件对初步设计的电
极进行离子飞行轨迹的仿真。囝1为电极及
离子/电子轨迹图。在仿真设计中,通过改变
圈1电极布置和青子/电子轨迹
离子属性使离子转换为电子,使整个轨迹过 ofions/el∞trons
F≮1poles蛆dtr可N劬7
程连续。离子轰击靶发射的电子的初始速度
(几eV)很低”l,其轨迹主耍受外电场决定,因此可预设电子初始能量1-lOeV。通过修正
电极形状,优化电压参数得到了牧佳的结构和电压参数。在离子能量lOkeV的条件下,转
换靶的电压为4950V。电子偏转ESA的内电扳接地,外电极的电压约-2350V。
1.2安装与调试
以离子屏蔽扳为基座安装电极和倍增器,同时转换靶安装在电子ESA上。由于设计的
思路是减少射向倍增器的杂散离子、中性粒子和电子,因此将倍增器安装在近似封闭的屏
蔽空间内.使得倍增器仅接收来自小型电
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