多通道真空弧离子源的研究.pdfVIP

四jfI省电子掌会高能电子掌专业委员会第五届掌术交流会论文集 149 多通道真空弧离子源研究 唐平瀛，戴晶怡，谈效华，石磊 (中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳，621900) 摘要：本文介绍了一种新型的多通道强流单次脉冲真空弧离子源。该离子源在工作时可以产生多个稳定的放电通道， 与单一放电通道的真空弧离子源相比，在相同的大电流工作条件下，多通道真空弧离子源放电等离子体中的杂质成分更少， 引出束流的品质更好，同时，离子源工作时的重复性和稳定性也更好。 关键词：真空弧离子源：多通道：稳定性 中图分类号：0571．5 文献标识码：A 1 引言 真空弧离子源是一种强流单次脉冲离子源，它具有结构紧凑、工作压强低、束流大和可以随时立即工 作等其他类型的离子源所无法比拟的优点【l枷。真空弧离子源的工作物质以固体形式存在于离子源电极当 中，离子源在未工作时处于高真空状态，当放电开始时，脉冲电源在离子源的电极之间加上一个脉冲高压， 离子源电极之间发生火花击穿，并迅速发展为真空弧放电，从而利用真空弧放电产生所需