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维普资讯
第22卷第6期 微 波 学 报 V01．22No．6
2006年 12月 JOURNALOFMICROWAVES Dec．2O06
文章编号：1005-6122(2006)06-0067-04
微波高温加热真空系统的研制
邹继兆 曾燮榕 r 熊信柏 ’ 梅 成 唐汉玲 李 龙
(1．西北工业大学材料学院，西安 710072；2．深圳大学理学院材料系，深圳 518060；
3，深圳市特种功能材料重点实验室，深圳 518060；4．南京杰全微波设备有限公司，南京210039)
摘 要： 在微波加热原理的基础上，根据具体的实验要求，介绍了一套 自制的多模谐振腔微波高温加热真空
系统。在该真空系统上进行了温度场测量；碳毡和碳化硅的微波加热试验；碳毡的气相致密化与碳化钨陶瓷的烧结
试验。结果表明：该微波加热系统电场主要聚焦在中心区域，而且均匀分布；在气氛保护下，碳化硅的加热温度在
20min内达到 1700~C，碳化钨的烧结致密度达到96％以上，在9o小时内，碳毡的密度可达 1，70g／cm 。
关键词： 微波加热，多模谐振腔，碳毡 ，碳化硅
ResearchonM icrowaveHigh-TemperatureHeatingVacuum System
ZOU Ji-zhao’，ZENGXie-rol~2t，XlONG Xin-bot，MEICheng ，TANG Hart-ling’，LILong’
(1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，NorthwesternPoly~echnicdUnive．i~，X／’帆 710072，Chn／a；
2．DepartmentofMaterialsScienceandEngineering，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060，Ch／na；
3． 胁 e，lKeyLaboratoryofSpecialFunctionalMaterials，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060，Ch／na；
4．Nanjing JiequanMicrowaveequipmentCO．LTD，Nanjing210039，China)
Abstract： Basedontheprincipleofmicrowaveheating，consideringtheexperimentalprocess，asetofself-mademul-
timodemicrowaveresonantcavityhiSh-temperatureheatingvacuum system wasintroduced．Thetemperaturefieldofhtemi-
crowaveheatingsystem Was measured，andtheheatingeffcetofcarbonfeltsnadsiliconcarbideWas tested，hteexperiments
werereesarchde onchemicalvaporinfiltrationofcrabonfeltsnadmicrowavesinterofceramic．Th eexperimentalresultswere
theelectromagneticfieldWas f~uesduniformlyinhtecentralregionofhtecavity；siliconcarbidewasheatde upto1700~C
withtheprotectionofnitrogengas in20minutes；therelativedensityofWCries to96％ ；thedensityofcarbonfeltsries to
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