倾斜入射薄膜滤光片偏振控制的优化算法.pdfVIP

第 38卷第 8期 光 子 学 报 Vo1．38No．8 2009年 8月 ACTA PHOToN ICA SIN ICA 倾斜入射薄膜滤光片偏振控制的优化算法* 聂明局 ，刘德 明 (华中科技大学 光 电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室，武汉 430074) 摘 要 ：利用多层膜的特征矩阵关系式和有效界面法，推导 出间隔层的厚度和有效折射率与两个偏 振分量的中心波长差值和通带半宽差值之 间的三个隐函数表达式．通过调整薄膜滤光片间隔层的 厚度和有效折射率，控制两个偏振分量 中心波长的相对位置．模拟计算表 明：改变间隔层 的有效折 射率和厚度 ，可以调整中心波长差值和通带半宽差值，实现两个偏振分量截止偏振不分离或 中心波 长偏振不分离．优化算法可以实现对倾斜入射薄膜滤光片的偏振控制． 关键词：薄膜光学；滤光片；消偏振；间隔层调节；折射率 中图分类号 ：O484．4 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4213(2009)08—2015—4 为 M，A为空气 ，G为基底．多腔带通滤光片可类似 0 引言 计算．单腔滤光片的结构如图 1． 光线倾斜入射时，薄膜 的有效光学厚度和有效 A t． 折射率均发生变化 ，S偏振光与 P偏振光的中心波 XI X 长不再重合_l1_31．在角度调谐或倾斜使用滤光片的情 况下，均需要减小或消除偏振分离现象 ]． M 消除薄膜 的偏振效应 ，尤其是消除滤光片的偏 X2 X 振效应 ，是一个棘手的难题 ，许多学者均有相关的报 道．Thelen提出多周期对称 型滤光片，通过矩阵计 算 ，获得消偏振截止滤光片 ¨6]；顾培夫采用高低折 射率混合间隔层的滤光片结构，调整问隔层 的干涉 级次和反射膜 的反射率 ，调 出消偏振滤光片l9。。。；江 绍基通过调节 间隔层 的厚度 ，获得消偏振截止滤光 片l1妇；王种通过调整 问隔层 的有效折射率，实现 了 一 _[(_+ )／ 一—— 一 两个偏振分量 中心波长 的重合 ． (其中m一是+ ( +声 )／27c) (1) 本文提出综合调整带通滤光片间隔层 的有效折 声 和 为反射膜堆 X1、X2的反射相位 ，NM、 射率和厚度 ，设计出固定角度消偏振的带通滤光片 d 和 0 分别为间隔层 的折射率、厚度和折射角，。 或长 ／短波通截止滤光片．从相位关系分析人手 ，在 倾斜入射条件下 ，推导出两偏振光的中心波长差值 、 通带半宽差值与间隔层 的有效折射率和厚度之间的 三个隐函数表达式．同时优化间隔层的有效折射率 和厚度 ，两偏振光的中心波长和通带半宽均发生变 化．这种算法可以很好地抑制或消除倾斜使用滤光 f]一{亟f。inisis。ni。。8~,jJ]} 片的偏振效应． 1 理论分析与算法 S 三isi 乏『]一CO 。 ． ． nG~,]}1『 1．1 干涉滤光片的中心波长 膜层的相位厚度为 一7-N djcos ； 设滤光片膜系结构为单腔 四分之一膜系 ：A／