弹性球状小磨头加工WolterⅠ型掠入射反射镜的去除函数.pdfVIP

第 19卷 第 1期 光学 精密工程 Vo】．19 NO．1 2011年 1月 OpticsandPrecisionEngineering Jan．2011 文章编号 1004—924X(2011)01—0010-07 弹性球状小磨头加工WolterI型 掠入射反射镜 的去除函数 王永刚 ，崔天冈0。，马文生 ，陈 斌 ，陈 波 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要 ：提 出用弹性球状小磨头 以旋进方式加工 WolterI型反射镜的柱面内表面，根锯 Preston方程 、Hertz接触理论和掠 入射反射镜特殊的柱面结构，推导出基于旋偏动模式的磨头去除函数理论模型。实验结果表明，理论去除函数 曲线与实 验 曲线的均方根距离偏差 为 0．10122 In，偏差 比值 为 9．8 。分析验证了不同旋偏角对去除函数的影响并与理论 模拟结果进行 了比较 。结果显示 ，随着旋偏角的增大，最大去除值位置逐渐向Y轴正方向偏移 。不 同的旋偏角，最大理 论去除深度 与最大实际去除深度 的均方根偏 差为 0．201 m；最 大理论去 除位置 与最大 实际去 除位置 的均方根偏 差为 0．255mm。旋偏角越大 ，材料去除量就越 多，去除函数也越显对称 。实验结果很好地验证了去除函数理论模 型的准确 性，该模 型可指导 WolterI型掠入射反射镜的加工 ，实现确定性材料去除。 关 键 词 ：WolterI型掠入射反 射镜 ；Preston方程 ；弹性球状 小磨头 ；旋偏动模式 ；去 除函数 ；赫兹接触理论 中图分类号 ：TQ17i．684 文献标识码 ：A doi：i0．3788／OPE．20l11901．0010 RemovalfunctionforfabricationofWolterIgrazing mirrorby elasticballtool W ANG Yong—gang～，CU ITian—gang一，MA W en—sheng ，CHEN Bin ，CHEN Bo (1．C~ngchunIm~tituteofOptics，R ]Vl3chanicsand ics，(TnineseAcoAemyofSciences，O~angchun1R~333，(}tina； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyoJ’Sciences，Beijing100039，China) Abstract：A noveltechnologyforfabricatingWolterIgrazingmirrorsbyanelasticballtoolwasde— scribedinthispaper．AccordingtotheHertzcontactingtheoryandPrestonequation，aremovalfunc— tionmodelfortoolmovementonacylindersurfacewasestablished basedon theprecessionmotion． ThecomparisonofthetheoreticalmodelandtheexperimentalresultsshowsthattheRM Sdistance warphetweenthetheoreticalremova1functioncurveandtheexperimentalcurveiS0．i0122tzm ，and itsdeflectionratiois9．8 ．Furthermore，theeffectofdifferentprecession angleson theremoval functionwasvalidated，whichpointsoutthatthelargertheprecessionangleis，themorethematerial areremovedandthemaxremovalpointmovestothecentreo