铈、铽和铥的溅射产额模拟及溅射公式的参数.pdfVIP

第27卷 第 1期 内蒙古民族大学学报 (自然科学版) V01．27 No．1 2012年 1月 JournalofInnerMongoliaUniversityforNationalities Jan．20122 铈、铽和铥的溅射产额模拟及溅射公式的参数 金木其乐，李之杰 (内蒙古民族大学 物理与电子信息学院，内蒙古 通辽 028043) [摘 要]简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式，描述了YAMAMURA半经验公式的 发展过程．采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额 ，并对两种 结果进行了对比和分析．由分析结果估计了YAMAMURA半经验公式计算铈的经验参数 ，采用该参数的公式 计算和模拟进行了比较，结果符合的很好． (关键词]ACAT程序；溅射产额；入射能量；YAMAMURA半经验公式 [中图分类号]TN305．92 [文献标识码]A [文章编号]1671—0185(2012)01—0001—05 Simulation theSputtering Yield ofCe，Tb，Tm and the Formula ofSputtering Yield’S Parameter Jinmnqile，LIZhi-jie (CollegeofPhysicsandElectronicInformation，InnerMongoliaUniversity forNationalities，Tongliao028043，China) Abstract：The Sigmund’s theory and otherempiricalfomr ulasbased on this theory were briefly introduced． The developmentofYAMAMURA’S Semiempiricalformula wasdescribed． Sputtering yield’S ofCe，Tb，Tm was Simulated and calculated by using ACAT code and YAMAMURA ’S Semiempiricalformula，and the comparative analysis ofthe resuhs obtained by the two metholdswere given．In this paper，afterestimated Semiempirical parameters of YAMAMURA’S Semiempiricalformula for calculating Ce，we perfomr ed both the simulation and analyticalcalculation andofund thattheresultswere coincidenteach othervery wel1． Keywords：ACAT code；Sputteringyield；Incidentenergy；YAMAMURA Semiempiricalfomr ula 1 引言 溅射是固体表面的辐照损伤…，在表面分析技术 、溅射镀膜、粒子束分析及表面细微加工等方面，离子溅射已经得到越 来越广泛的应用．另一方面，因为溅射对材料的辐照损伤而产生的负面影响也是溅射理论研究的一个重要方面．在聚变堆 的设计中，材料的损伤是重要问题之一． 蒙特卡洛模拟方法 ，是研究溅射过程问题的重要方法 ，溅射产额是离子溅射最重要的参数．有很多程序可以模拟离 子溅射的溅射产额 ，由山村等人开发的ACAT(AtomicCollisionsinanAmorphousTraget)程序 是基于俩体碰撞的蒙特卡 洛模拟程序． 把实验和模拟的结果抽象成理论公式 ，是该问题研究的重要 内容．YAMAMURA在前人研究基