离子源研究中地光谱诊断.pdfVIP

离子源研究中的光谱诊断 唐平瀛，戴晶恰，谈效华。向伟，石磊 (中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳，621900) 摘要：在离子源研究中，光谱分析作为一种重要的实验手段，具有不可替代的优越 性和便利性。作为一种非接触式的等离子体诊断手段，光谱分析可以在不影响离子 源放电工作状态的前提下，对离子源放电等离子体的有关参数迅速做出测量和判断。 本文列举了光谱诊断方法在离子源研究中的几种典型应用。 关键词：离子源，等离子体，光谱诊断 引言 在离子源的研究中，常常需要对放电的状态、放电等离子体的有关参数进行诊 断测量，并已经形成了许多成熟有效的测量方法【l“。其中，光谱诊断作为一种被 动的非接触式的测量手段，具有实验装置简单、结果准确可靠、并且不会对放电等 离子体的状态产生任何干扰等优点，而越来越得到重视和广泛的应用。 在目前应用的离子源中，绝大多数都有较强的等离子体辐射，这就给光谱诊断 提供了广阔的天地。图l为一种典型的光谱诊断实验装置一光学多道系统。光学多 道系统通过采用不同的光栅分光，测量范围可以覆盖近紫外到远红外，还可以进行 多个通道同时采集，从而实现等离子体光谱的空间分辨。实验数据的分析和后处理 由专门的软件在计算机上完成。 图1 光谱诊断实验装置示意图 1 离子源放电等离子体参数的测量 离子源的光谱辐射来源于放电所形成的等离子体辐射，该等离子体由处于各种 能最状态的原子、分子、离子和电子组成，其中处于激发态的粒子，有可能通过自 发跃迁到低能态而发出相应波长的辐射。因此，可以采用绝对定标后的光谱仪测得 离子源等离子体中的原子发射光谱中某一谱线的辐射亮度L。，并进一步得到原子 谱线辐射强度厶”’…。而原子谱线辐射强度厶与原子浓度m又有以下关系， I。。=A。。hv。，”。矿芋 0：3,4，5；Ⅲ=2) (1) q盯 式中，肌为跃迁儿率，h为普朗克常数，v。，为光辐射频率，n。为该激发态原子的 数密度，y为实验测得的产生辐射的等离子体体积。 这样，只要测得一宏观小块等离子体所发出的光谱线的辐射亮度￡-，就可以 得到该态的原子浓度m。如果假定放电等离子体处于部分局部热力学平衡状态 (PLTE)，即除基态外，处于不同能量状态的原子浓度应符合玻尔兹曼分布，有1”， n。=n。蔓立Pm-一5“‘‘ (2) g． 式中层，为处于n能级的原子的能量；岛为该态的统计权重：k为玻尔兹曼常数：f 为电子温度。 在部分局部热力学平衡状态(PLTE)，基态原子浓度月，要高于局部热力学平衡 态(LTE)的基态原子浓度／71‘： n。=n：旦P“‘Ⅲ【 gt (3) 由(2)、(3)式可得 ing_t：星≠+1n粤 n． 幔 ni (4) 由(4)式可知，从该对数图上的斜率，可以求得该等离子体的电子温度L，从 对数图上的纵轴截距，可以求得LTE态时的基态原子浓度／／，’，在已知电子浓度后， 理论上可以计算常数a，从而计算真正的基态原子浓度。而离子浓度n+可由PLTE 态的特殊沙哈方程求得”1 ∥卜n：(等声警(㈣；e刮螺 (5) 式中Ei为基态原子的电离能；i为统计权重。 图2是光谱诊断实验测量得到的高频氢离子源稳定工作时放电等离子体的发 射光谱图，横坐标为波长值，纵坐标为光谱仪测得的相对强度值．采用前文所提到 的计算方法对测量得到的光谱数据进行了处理，得到的高频离子源的氢等离子体参 数如表l所示。 67