基于光学测微及CCD细分原理的比较测微仪地研究.pdfVIP

第28卷第8期增刊 仪器仪表学报 VoL28No．8 2007年8月 ChineseJournalofSeientificInstrument Au舀2007 基于光学测微及CCD细分原理的比较测微仪 的研究 肖作江，曹维国，石丽霞，李丽娟，安志勇 (长春理工大学生命科学学院长春130022) 摘要：本文利用光学测微原理对微小尺寸进行初级放大，通过读数系统将微小尺寸转变为光栅像的移动，从而获得测量尺 寸放大的莫尔条纹信号，再利用CCD分辨率高，象素均匀的特点，对莫尔条纹进行细分，从而提高了测长系统的分辨率和精 度，精度可达到0．5 tan。 关键词：光学测微，莫尔条纹；CCD细分 ofthe micrometerbasedonthe of Study comparative principle optical micrometerandtheCCDsubdivision Xiao Lixia，Li Zuojiang，CaoWeiguo，Shi Lijuan，AnZhiyong and Scienceand (Collegeoffescience，ChangchunUniversityof 130022，China) Technology，Changchun Abstract：Thisuses micrometerto the themicros- paper optical microsize，andchanges principleprimarilyamplify izetothemovementofthe the obtainsthemoire which gratingimage throughreadingsystem．thus fringessignal the dimensionis thensubdividesthemoire CCDCharacteristicsof measuring amplified．And fringesbyusing high resolutionand itincreasesthe resolutionand ofthe pixeluniformity，thus precisionlength-measuring tion．The is to precisionup 0．5／zm． micrometer；Moire Keywords：Optical fringes；CCD-subdivision 角度导，则反射光线与