纳米结构在微纳传感器应用中地介电泳操控研究.pdfVIP

刘伟景等：纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究 纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究木 刘伟景，张健，万丽娟，蒋珂玮 (华东师范大学信息学院电子系，上海200062) 摘要： 要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感 匀，这些被极化的微粒就会受到一份净作用力，即介电 器等电学系统申，首先要解决的问题是材料的定位操作 泳力。根据电磁理论，球状微粒在非均匀电场中所受介 问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在 电泳力的大小可用下列公式表示 自行设计的几种电极的基础上，采用介电泳技术对微纳 (1) ‰=hy乞K(动V(‰2) 米材料进行操控，可以实现微纳米材料沿电场方向的排 其中y为微粒的体积，如。为电场的均方根，板∞) 布和电极间的跨接。初步测试了采用介电泳技术操控自 也eClaus