旋转式硅微机械陀螺地研究.pdfVIP

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2017-08-19 发布于安徽
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旋转式硅微机械陀螺地研究.pdf

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旋转式硅微机械陀螺的研究王宏伟，腾功清，齐臣杰，江世宇 (北京信息科技大学理学院，北京100085) 摘要：分析了旋转式硅微机械陀螺的5-作原理，建立了该陀螺的教学模型，设计了其敏感结构，计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数，计算分析了陀螺的电容敏感特性。对制作的陀螺进行性能测试的结果表明，该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动，从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确，并且理论和试验都说明，当栽体自旋角速度不同时，陀螺输出信号的比例系数也不同。关键词：旋转；微机械；陀螺；角速度 Researchofa SiliconMicro-Machined Rotating Gyroscope WANG Hong-wei，TENGGong—qing，QIChenjie，JIANGShi—yu (TheSchool Science ofScience．BtilingInforraatlon ofa siliconmicro-machinedwas the Abstract：Theprinciple gyroscopeanalyzed，andgy- rotating mathematicsmodewasset sensitivestructurewasalso roscopes up．The designed．Thedynamics astherotationinertiaofthethreeaxialofthe werecalculated．Thetorsio- parameters gyroscope vibrationwas nal ofthe beamandthe ofthe calculated． angle rigidityelasticity damping[actor Theelectric sensitiveofthe was micro-machined capacity gyroscopeanalyzed．The gyroscope’s test micio-machinedisdriv— characteristichasbeentested，theindicatesthatthesilicon gyroscope en withthetheoretical the earrieCs calculatedthesameresult re— by rotating angularvelocity，and andthe areallshowedthatwhenthe carriers veloci— sult．The angular theory experiment rota