双频激光干涉使用仪操作说明.docVIP

双频激光干涉仪使用操作说明 操作步骤 1.系统的相互连接（如图1所示） a.通过PCM20接口，用通讯电缆将 IBM thinkPad笔记本电脑与ML10 激光干涉仪连接。 b.通过PCM20接口，用通讯电缆将 IBM thinkPad笔记本电脑与EC10 环境补偿单元连接，并将空气及材料温度传感器放置在机床适当位置。 c.用通讯电缆将 IBM thinkPad笔记本电脑与HP1180c打印机连接。 d.将PC10、ML10、EC10分别接上电源线，再接到电源插板上。 e.通过稳压电源，将总电源线接到220V接地电源上。 2.激光的预热 闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15～20分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。 3.测量软件的启动 a.打开笔记本电脑，启动“Renishaw Laser10”测量软件 b.双击“线性测长”进入“Renishaw Laser10 Capture”测量子软件。 4.光学镜的安装（如图1所示） a.将ML10激光干涉仪固装在测量三脚架上。 b.将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。 c.将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。 图 1 用于测量定位的典型系统设置。 干涉镜及反射镜线性干涉镜及反射镜的定位放置三脚架及激光器，使其垂直指向测量镜组。 利用机架作为瞄准线，使激光器大略与运动轴准直。 旋转光闸，以便激光器发出图 中所示的直径变小的光束。光束的直径越小，越容易看出光路是否准直。移动机床，使线性反射镜靠近激光器，并将一个光靶置于前端，白点在上。 平移激光器或机床，直到光束击中光靶上的白点。此时线性干涉镜不应置于激光器及线性反射镜之间。  图2 图3d.取下光靶，并检查从反射镜返回的激光束是否击中 ML10 光闸上的光靶中心。 如果没有，则平移激光器或机床，直到激光束击中光靶的中心。 图4 图5 e.将线性干涉镜与反射镜靠得越近越好，如图 所示。如果它们的位置离得很近，则只需调整激光头就能完成其余部分的准直调整。确保干涉镜和反射镜的外表面互相准直并与机床垂直。 如果干涉镜放置歪斜，精度就会下降，并可能因光束被遮断而导致检测失败。 一般说来，在进行滚摆、俯仰和偏转测量时，最好使干涉镜的准直角度小于 ±2°，这通常可通过肉眼完成。将光靶安装在干涉镜的入射光孔中，使白点在上，并垂直和水平平移干涉镜，以便光束击中光靶。 图6 图7h.从线性干涉镜取下光靶，并检查从干涉镜返回的激光束是否击中从反光镜返回的激光束上方的 ML10 光闸上的中心。 如果没有，则平移干涉镜，直到激光束击中白色光靶的中心。在干涉镜和反射镜之间放一张以遮断从反射镜返回的光束可能会很有用。 简单线性准直步骤沿着校准轴移动机床一小段距离，以便将光靶安装到顶部带有白色光靶的反光镜上。准直激光器，以便激光束通过整个运动轴击中光靶中心。从线性反射镜中取下光靶，如有必要，水平平移激光头，以便从线性干涉镜和反光镜中返回的光束击中光闸上的光靶。 图8 图9 c.然后，垂直平移激光头，使光束回到光靶的中心。注意：此时，可能有必要进行另外一个较小的水平回转调整，以便使激光束返回到该光靶的中心。依照一节的说明，重新检查返回的光束在激光头的准直度。 在激光头处，任何光束的光路未准直误差所产生的影响都会加倍，因此较易察觉。 快速准直步骤沿着运动轴推动机床以将反射镜与干涉镜分开。移动机床，直到光束开始移开 ML10 光闸上的光靶。 一旦您看到其中一个光束达到光靶边缘，便停止移动机床。使用激光头后方的指形轮来调整其旋转步长，以使两道光束回到相同的高度。 图10 图11 d.现在，使用三脚架中心主轴上的高度调整轮来将激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。用三脚架台左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。 图13 f.现在，用三脚架台左边中间的大旋钮，调整激光头的水平平移激光器，使两道光束击中光靶的中心。   图14