玻璃基ATO%2fSiO2减反射抗静电双功能薄膜的研究.pdfVIP

玻璃基ATO/SiO2减反射抗静电双功能薄膜的研究 StudyondoublefunctionalfilmsATO/SiO2withantireflectionandantistaticonGlassSubstrate 侯少红1赵青南1董玉红2赵修建1 1武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室，湖北武汉430070 2江苏秀强玻璃工艺股份有限公司，江苏宿迁223800 摘要：以无机金属盐SnCl2×H2O、SbCl3，正硅酸乙酯、无水乙醇为原料，采用溶胶凝胶浸渍提拉法在普通玻璃基片上制备 了单层ATO(Sb掺杂SnO2)-SiO2、双层ATO/ATO-SiO2减反射抗静电双功能薄膜。用紫外可见近红外分光光谱仪、绝缘电 阻测试仪对薄膜进行了光电性能的表征。结果表明，单层膜的透过率最高为92.67％，反射率为6.78％，表面电阻在108W的 数量级；双层膜的最高透过率达到93.57％，反射率为5.15％，表面电阻达到106W的数量级；ATO膜层厚度的增加可以提高 薄膜的抗静电性能。 关键词：溶胶凝胶法；ATO-SiO2；ATO/ATO-SiO2；减反射抗静电薄膜 Abstract:DoublefunctionalfilmsATO(SnO2∶Sb)-SiO2andATO/ATO-SiO2withantireflectionandantistaticonglasssubstratewere preparedbysol-gelmethononsimpleglasssubstrate,inorganicmetalSnCl2 H2O、 SbCl3、 TEOSandCH3CH2OHasthemain rawmaterials.TheoptoelectronicperformancewerecharacteredbyUV-Vis-NIRspectrophotometerandinsulationresistancetester. Theresultsshowsthatthehighesttransmissionofthesinglelayerfilmis92.67％ whilethereflectanceis6.78％,thesurfaceresistivityis 108orderofmagnitudes;thehighesttranamissionofthedouble-layerfilmscanreachupto93.57％ whilethereflectanceis5.15％,the resistivityreached106 orderofmagnitudes;increasedthethicknessoftheATOfilmscanimprovetheantistaticproperties. Keywords:sol-gelmethod;ATO-SiO2;ATO/ATO-SiO2;antireflectionandantistaticfilm 2．1溶胶的配制 A．si O 2溶胶的配制：将正硅酸乙酯．蒸馏 的折射率逐渐增加．使得薄膜的减反射／增透效 水，盐酸和无水乙醇以1：2：O．02：20的摩尔比混果越来越小；当ATO掺杂量大于15％时，膜层的 合，常温搅拌3h．陈化一定时间．得到无色透明 折射率大于玻璃的折射率1．52，薄膜已不具有增 溶胶备用； 透效果．平均反射率较玻璃的大(见图2)．透射 B．ATO溶胶的配制：以SnC 12×H20、SbC13分 率较玻璃的小(见图1)． 别作为Sn溶胶和Sb溶胶的前驱体．无水乙醇为溶 93 剂．配制Sb摩尔掺杂比为5％的ATO溶胶． C．ATO—si02溶胶的配制：按一定比例将配好 92 的ATO溶胶缓慢掺入到SiO：溶胶中，常温搅拌1h． 91 得到澄清透明的ATO—SiO：溶胶．密封保存静置陈 90 化待用．