微型激光扩束镜高质量表面加工工艺地研究.pdfVIP

第32卷增刊 光学技术 V01．32 Suppl． 2006年8月 OPTICALTECHNIQUE 2006 August 文肇编号：1002．1582(2006)S0663．02 微型激光扩束镜高质量表面加工工艺的研究+ 樊金贵 (超大光电科技有限公司，江苏丹阳212353) 摘要：研究了微型激光扩束镜准超光滑表面躬加工工艺。分析了机床速度、压力、抛光粉、工作温度、抛光模等对 骞壤鲞表露的影嚷。选定了一系弼懿工艺参数，太鹾凄蓖提高了产品酶合格率。 关键词：微型扩柬镜；高质最袭面加工；梭验方法 中图分类母：n{706 文献标识码：A The ofthe formicrolaserextender-lens study ultra—smoothingprocess FAN Jin—gui (SuperduperOpto-electronicTechnologyCorpLtd，Danyang212353，China) Abstract：The formicrolaserextender-lensisstudied．Thecoefficientstoaffectthesurface ultm-smoothff瑶process quality aS and 0f are speed，size and etc．Ⅳ- anajyzed，suchworking componentpolishingabrasives，workingtemperatureplishingpad ter and ofthe is experimentoptimization，thepassingpercentproductionimproved． laser ofthe Keywords：micro surface percent method extender-lens；highquality；passing preducxion；test 线和一系列工艺手段，并已取得照著的效果。 1 引 言 2微型双罂扩束镜生产工艺路线 由手激光豹糖于性，徽型小蘸率半径双霞球瑟 扩束镜表面或内部微小疵点、微粒等会在准直后的 (1)把准备好的主材料按下列要求进行切割下 激光束周围产生杂散光斑，会降低激光束质量，增大 料、滚圆 光能耗损，，因诧在激光器产品孛对徽型扩束镜翡质 材辩：优质K9 量要求具有与常规透镜不同的更为严格的技术要 下料尺寸：8×8x60 求，即表面粗糙度必须达到0．004#m(Ra)，属准超滚圆尺寸：舛。3X60 光滑表面。表面疵病等级为王～蠢级，体积为微型。 (2)把准备好的辅渤毒手料按特制配方遴行配制、 要想获取这样的效果，必须