Top-Spray式Slimming酸刻条纹成因窥探.pdfVIP

钱华军 (成都工投电子科技有限公司) 摘要近年来，随着市场的对于液晶面板质量需求越来越高，产品薄化成为市场的主流趋势。产品 等。本文主要探讨了基于T0p—spray式化学蚀刻方法下的的品质缺陷酸刻条纹的成因及改善。并为 TFT__I，CD化学薄化提供技术参考。 关键词Top—Spray化学蚀刻液晶面板薄化 引言 液晶显示器是目前广泛使用的平板显示器之一，具有功耗低、外形薄、重量轻等特征。 被广泛用于台式液晶显示器、笔记本液晶显示器、手持显示器和大尺寸液晶电视等。随着 市场的发展，人们对于液晶显示器的需求也有越来越高，比如重量更轻，视野更清晰，触 摸更灵敏等。液晶显示器的薄化的成为市场发展的主流趋势，目前高世代液晶面板生产线 均己相继投入到薄型化产品的生产中。 化学薄化技术介绍 1．1主流化学薄化技术 表1市场几种主流薄化的对比情况 Dipping： Spray： Cascade： Top—Spray： 方式 立浸泡式 片直立喷洒式 瀑布流式 顶部喷淋式 ，一 ，露、 示意图 幽 串 l - 成本 回收较难 可回收 可回收 可回收，回收率高 古 古 效率 同 低 低 同 易生沉淀 品质好，存在 品质 易产生凹凸点 存在凸起、酸刻条纹 物，粉末 酸刻条纹 物理研磨 需要 需要 需要 小部分需要 对 均衡薄化 可以 可以 不可以 可以 应 单面薄化 可以 可以 可以 可以 技 134 I术l不对称薄化 不可以 可以 可以 i 可以 | 目前的液晶面板薄化包括双面均衡薄化技术、单面薄化技术、不对称薄化技术等。在 液晶面板薄化的技术中，以化学薄化和物理研磨相结合的方式进行，其中以化学薄化为主。 化学薄化经历了多片直立浸泡式，单片直立喷洒式，瀑布流式以及最新的Top．Spray式。 此四类以Top—Spray式效率最优、品质最稳定。市场几种主流薄化的对比情况如表1所示。 1．2 Top—spray式化学薄化原理 (1)化学薄化原理 主要化学反应：4HF+Si02=一SiF4+2H20 次要化学反应：Ro+2H+===R2++H20(R代表金属化合物) (2)Top—Spray式化学薄化示意图 管遂 图1Top—spray式化学薄化示意图 2Top．Spray式化学薄化酸刻条纹成因分析及解决方案 2．1酸刻条纹的危害及修复 (1)酸刻条纹的定义：化学液在化学薄化过程中形成的纹路，也即化学液运动路径。 (2)酸刻条纹的危害：轻则会对表面外观形成一定的影响；重则会形成厚度差异，在后 工序不能进行贴Polaroid及LCM组装。 (3)酸刻条纹的修复：对于轻微的酸刻条纹可以进行物理抛光修复。