用于固体核径迹探测器的电化学蚀刻系统.pdfVIP

用于固体核径迹探测器的电化学蚀刻系统 史永谦1李义国1赵修良2夏普1骆亿生3俞元法’ (1中国原子能科学研究反应堆工程设计研究所，北京，102413； 2南华大学核科学技术学院，衡阳，421001： 3北京放射医学研究所，北京，100850) 摘要：在固体核径迹探测器用于辐射测量中，辐射后的蚀刻技术是关键技术之一。为了 提高CR_一39探测器的灵敏度，研制了电化学蚀刻系统。电化学蚀刻系统由变频变压电 正弦波，输出电压最大为5V。经功率放大输出和变压器后，其输出电压最大值为1600 千伏(在2KHz下)，可提供最大场强为100kV／cm(对300um)。 关键词：电化学蚀刻；固体径迹探测器；变频变压电源 中图分类号：TL374．5 固体径迹探测器在原子核物理、反应堆物理以及辐射测量中已得到广泛的应用。电 化学蚀刻cI己_39探测片方法Il】因其灵敏度高，蚀刻时间短等特点已被应用于n粒子、 中子剂量【21、中子能谱测量中。用电化学蚀刻CR-一39固体径迹探测器来测量快中子能 谱有如下特点：1)可以作成较小的体积，其测量中子能谱的空间分辨高。2)可根据所 测中子能量需要，作成所测能量的探测器组合。该方法测量中予能谱与其它方法如阈探 测器法、飞行时间法相比，其中子能量的空间和能量分辨率好。 CR-39探测片可以记录a粒子和质子。在一定的蚀刻条件下，可记录一定能量范 围的质子f31。而中子与质子发生弹性反应后，通过记录质子的能量，从而可以得到中子 能量。为了利用该方法提高测量中子能谱的分辨率，本工作建立了一套电化学蚀刻装置。 1装置简介 电化学蚀刻装置由变频变压电源、变压器、蚀刻槽和恒温加热器组成(图1)。 图1电化学蚀刻装置 Electrochemical Fig．1 etchingequipment 波形为正弦波，功率输出端接入变压器原边。输出电压经变压器升压后，接入蚀刻槽的 电极上，蚀刻槽放入恒温加热器内。 蚀刻槽材料为有机玻璃，其结构见图2 图2蚀刻槽 蚀刻槽分为内外两个圆柱形容器，容器内放入蚀刻溶液。蚀刻槽外容器内径为 11．4cm，外径为11．0 片，再放入同样大小的塑料垫圈，最后，加凸型有机玻璃，用四个螺丝钉将CI卜39压 紧，以防内容器溶液漏出。内容器中心与外容器中心重合，在内溶器中心和外溶器内分 别放入不锈钢丝作为电极，不锈钢丝直径为lmm。cR．—39探测片位于两个电极中间。 电场强度为两个电极间电压(峰一峰值)除以CI卜39厚度。 方有一温度计。 2输出电压和频率的关系 电化学蚀刻装置输出电压和频率是两个重要的参数。在蚀刻装置电极上，接入变压 器副边输出端和电压表，在某一频率的情况下，改变仪器输出电压，测得仪器输出最大 电压和对应的电极两端的电压．改变频率，测得不同频率下的仪器输出电压和电极两端 电压。由于电压表本身量程有限，将已知阻值的电阻与电压表串联，以使电压表量程 变大，最大量程为2500V。图3给出了电极两端电压与仪器输出电压的关系。图4给出 了频率与电极两端最大电压的关系． 啪 鼬 枷 、 瑚 邕 粤 咖 强 啪 蹩 鼙 啪 哥 枷 瑚 。 0 1 2 3 4 5 信号发生器输出电压，V 图3电极两端电压与仪器输出电压关系 ’800 1600 -1400 』 蒋1200 窿 晕一000 』