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第2章 电子显微分析  •内容：  –第1节、电子光学基础  –第2节、透射电子显微镜  –第3节、扫描电子显微镜  –第4节、电子探针X射线显微分析 第1节、电子光学基础 一、光学显微镜的分辨率 二、电子波长 三、电子透镜的聚焦原理 四、电磁透镜的像差 五、电磁透镜的景深和焦长 •  光学显微镜的发明为人类认识微观世界提 供了重要的工具。但是，随着科学技术的 发展，光学显微镜因其有限的分辨本领而 难以满足许多微观分析的需求。  •  上世纪30年代后，电子显微镜的发明将分 辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜 的功能由单一的形貌观察扩展到集形貌观 察、晶体结构、成分分析等于一体。人类 认识微观世界的能力从此有了长足的发展。 2010­9  现代仪器分析课程讲义  3  •  一、光学显微镜的分辨率  •  显微镜的分辨率通常用两个可以被分辨的物体间 的最小距离来定义。  •  光学显微镜的分辨率是有限的。尽管利用光学显 微镜可以观察到人眼不能直接分辨的物体的细 节，但是对微米数量级以下的细节，即使将显微 镜的放大倍数无限制地增大也无法分辨出来。  •  显微镜的分辨率主要取决于所用光源的波长，而 与显微镜本身无关。 •  物体可看成由许多物点组成，当光源照射物体时， 每一个物点都可视为一个“点光源”。  •  一个理想的物点经过透镜 成象时，本应形成一个物 像点，但是由于光的波动 性，使得像点及其周围区 域的光波发生相互干涉作 用，产生衍射效应，从而 使像平面上形成的不再是 一个像点，而是一个具有 一定尺寸的中央亮斑和周 围明暗相间的圆环所构成 的埃利(Airy)斑。 2010­9  现代仪器分析课程讲义  5  •  埃利斑的强度大约84%集中在中心亮斑上，其余分 布在周围的亮环上。由于周围亮环的强度比较低， 一般肉眼不易分辨，只能看到中心亮斑。因此通常 以埃利斑的第一暗环的半径来衡量其大小。  •  根据衍射理论推导，点光源通过透镜产生的埃利斑 半径R 的表达式为：  0  0 . 61 l  R =  M  0 n sin a •  式中，l——照明光源波长，n——透镜物方介质折 射率值，a——透镜半孔径角，M——透镜放大倍 数。 •  通常把两个埃利斑中心间距等于埃利斑半径时， 物平面上相应的两个物点间距（r ）定义为透镜 0  能分辨的最小间距，即透镜分辨率 （也称分辨本 领）。即：  R  0  r  = 0 M  •  将上式代入后有：  r =  0 . 61 l  0  n sin a •  对于光学透镜， n≈1.5， a  ≈70～75°，上式 max  可以近似为：