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TiO_2薄膜的制备方法及应用.pdf

第 2 期                   真 空  VACUUM 2003 年 3 月 19 T iO 2 薄膜的制备方法及应用 1, 2 2 1 吴志猛 , 张伟强 , 董 闯 ( 1 大连理工大学三束实验室, 辽宁 大连 116024;  2 辽宁工程技术大学材料系, 辽宁 阜新 123000) 摘 要: T iO 2 薄膜具有良好的电学性能, 优异的光学性能, 化学稳定性高, 机械强度高, 长期以来受到人们的关注, 已经广泛应用在电子、光学、医学等方面。本文简单介绍了T iO 2 薄膜的制备方法及应用。 关键词: T iO 2 薄膜; 光催化; 制备方法; 应用 中图分类号: O 484; TB 43    文献标识码: A     文章编号:(2003) 0200 1904 Prepara t ion M ethods an d A ppl ica t ion s of T iO 2 Th in F ilm s 1, 2 2 1 , , W U Zh i m en g ZHAN G W ei q ian g DON G Chu an g (      1T h ree B eam s L abora tory , D a lian U n iv ers ity of T ech nology , D a liang 116024, Ch ina;      2 , , 123000, ) D ep a rm en t of m a ter ia ls sc ience L iaon ing tech n ica l un iv ers ity F ux in Ch ina , , A bstract: T h e T iO 2 th in film h a s good e lect r ica l p rop er t ie s p erfect op t ica l p rop er t ie s h igh ch em ica l re sist ib ility an d h igh m ech an ica l st rength. So it h a s b een p a id at ten t ion to fo r long t im e an d u sed in m any fie ld s w h ich in clu de e lect ron ic, op t ica l . . an d m ed ic

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