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全国性建材科技期刊——《玻璃》 2010年 第5期 总第224期 在线镀膜的化学反应原理及其应用 王铁丁 （中国建材国际工程公司　蚌埠市　233018） 摘 要 化学气相沉积法（CVD）在线镀膜是镀膜玻璃生产的一种主要方法，其工艺过程包括物理过程和化学反应过程。 本文主要分析在线镀膜主要的化学反应原理和在生产中应用，掌握其生产中发生的主要化学反应及原理对于稳定生产， 提高镀膜玻璃质量具有十分重要的作用。 关键词 在线镀膜玻璃　气相沉积法　热分解 中图分类号：TQ171 文献标识码：A 文章编号：1003－1987（2010）05－038 0 －03 化学气相沉积法工艺，该工艺可生产热反射镀膜玻 1　引 言 璃和低辐射（Low-E）玻璃。化学气相沉积法工艺 化学气相沉积法（CVD），也是化合物热分解 是在浮法玻璃成形过程中，经过反应器将原料气体 法，其原理是向高温或加热的基板上喷射有机金属 以层流方式喷射到高温的玻璃表面上，沉积产生镀 化合物或无机化合物的蒸气，使其在基板表面上沉 膜层，玻璃冷却后在其表面产生坚硬的膜层，在线 积发生分解、氧化等反应，生成金属氧化物或无机 镀膜生产热反射镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃的原料 物的附着膜。此法以分子状态进行反应，生成膜层 配方和反应器均不同，但主要原料均为有机金属化 快，所以膜层具有良好的微观均匀性。由于玻璃表 合物和无机化合物。 面具有不同与内部的结构和性质，所以均能在玻璃 气相沉积的生产工艺物理过程为：有机金属或 的表面上产生稳定的分子键，增加了膜层和玻璃基 无机化合物向玻璃表面的扩散、吸附作用和离解作 片的机械强度。 用、解吸溢流物、沉积颗粒的表面漂移、结晶颗粒 目前，商业化生产镀膜玻璃主要有磁控溅射法 的晶核形成等。 和化学气相沉积法（CVD）工艺。本文在线镀膜为 在线镀膜玻璃生产中的化学反应可分为：热分 4 结 语 范全书[M].金版电子出版公司2003年. ［2］JuhanlMyyrA 在实际玻璃钢化的冷却工艺生产过程中，能够 业出版社,1987年. 对玻璃钢化质量产生影响的因素比较多。本文中所提 到的因素也只是所有影响因素中的比较主要的部分， Discussion on the Cooling Technology 并且也只是从玻璃本身具有的特性和钢化生产设备的 and Quality Influencing Factors of Tempered Glass Wang Lixiang, Li Yong, Ji Shuwei 生产原理的角度进行考虑的，而这些因素之间既有区 ( China national center fo r quality supervision and test of glass , 别，也相互联系，所以，在实际生产过程中，我们不 Qinhuangdao , 066000 ) Abstract : The cooling technology of tempered glass was 但要考虑到这些因素之间的关系，又要从工厂的实际 described and t