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第二章 MEMS基础理论 在微观世界，许多物理现象同宏观世界相驳，这可由尺寸效应来解释。所谓尺寸效应是指当物体的尺寸L改变时，种种的物理量比例于Ln而变化的现象。比如，在空中举着的物体手离开时会下落这一宏观世界的常识对蒲公英的种子或者眼睛看不到的灰尘却不适应，由于它们质量非常轻，作用在其表面的空气的摩擦力使其在空中浮游。另以潜水艇为例，它通常靠螺旋桨旋转向后搅动水，依靠反作用的惯性力动作，此时作用在潜水艇表面的水的黏性摩擦表现为阻力。在宏观世界，惯性力对摩擦力的比(即雷诺数)非常大，螺旋桨可用作推进器。但是，若将潜水艇微缩到针头大小时，螺旋桨即使转动潜水艇也难以前行，这是由于在微观世界雷诺数接近或小于1，摩擦力处于支配地位，在水中螺旋桨犹如在高粱饴中转动，当然不能前行。事实上，观察有些细菌可知，它们带有螺旋状长长的鞭毛，尤如软木塞起盖器一样边旋转边前行而非简单的转动。 在微观世界，热交换和化学反应等尤为迅速。生活中以煮萝卜为例，整根萝卜放入锅里很难煮熟，也不入味，若将萝卜切成碎块则易熟易入味，能很快端上餐桌，这是由于热交换或化学反应速率正比于物体的表面积。通常人们认为铁不会燃烧，但是若将铁研磨成超级粉末，其表面积大大增加在空气中会燃烧起来。同理为了提高火药(它的英文是powder,原意指粉末)爆炸的威力，一般尽可能使原料搅拌均匀并研磨成细粉状。另外，在微观世界里液体表面的张力也不能忽视。 对微机械而言，由于尺寸极其微小，传统的能源驱动方式难以奏效，需要利用一些新型驱动方式，如静电驱动、压电驱动或热膨胀力驱动等。另外，从微制造工艺的特点考虑，通常使用硅或改性硅作为机械材料，有时也根据需要使用一些其他材料。 尺寸效应 随着器件或系统的尺寸缩小，它们的性能如何变化？表2-1汇总了一些物理量随长度L(代表尺寸)变化的关系式和尺寸效应。通常，体积或质量比例于L3，运动方程式中外力等于惯性力fi和摩擦力ff的和，惯性力和黏性力分别比例于L4和L2。 当L变小时，惯性力相对减小，而黏性力相对增大。因此，很小的物体运动时摩擦问题不容忽视，尤其在流体中存在着很大的粘性阻力。对于固体的固有振动频率而言，它与L成反比例变化，这意味着L愈小响应速度愈快。另外，热传导量比例于L，这意味着微观领域较利于散热。 表2-1 物理参数的尺寸效应 参 数 记号 关系式 尺寸效应 备注 长度(代表尺寸) 表面积 体积 质量 L S V m L ∝L2 ∝L3 ρV L L2 L3 L3 ρ:密度 压力 重力 惯性力 摩擦力 弹性力 fp fg fi ff fe Sp mg m (d2x/dt2 ) uS/d (dx/dt) eS (ΔL/L) L2 L3 L4 L2 L2 p:压力， S:面积 g重力加速度 x:位移量， t:时间 u:粘性系数， d:间隔 e:杨氏弹性模量 线性弹性系数 固有振动频率 转动惯量 重力产生的挠度 雷诺数 K ω I D Re 2UV/(ΔL)2 amr2 m/K fi/ff L L-1 L5 L2 L2 U:单位体积伸长所需能量 a:常数， r:旋转体的半径 热传导 热对流 热辐射 Qc Qt Qr λΔTA/d hΔTS CT4S L L2 L2 ΔT:温度差， λ:热传导率 A:断面积 h:温度传导率 C:常数 静电力 电磁力 热膨胀力 Fe Fm FT εSE2/2 μSH2/2 eS ΔL(T)/L L0 L4 L2 ε:介电常数，E：电场 μ:导磁率，H：磁场强度 压电力也类似 表2-2给出了运动参数受尺寸影响的估算值。作为大小分别相差103倍的世界，分子的代表尺寸假定为1nm，细菌为1um，微机械为1mm。人的代表尺寸若为1m,质量和表面积假定为50kg和1m2。按照质量比例于L3，表面积比例于L2变化，可估算出各自的质量m和表面积S。这里，各自的运动速度假定为每秒自身长(实际上，这种速度假设对人而言比较接近，对细菌来说约大十倍)。 表2-2 与运动参数相关的尺寸效应 参 数 单位 符号， 关系式 分子 细菌 微机械 人 代表尺寸 m L 10-9(1nm) 10-6(1μm) 10-3(1mm) 1(1m) 质 量 kg m∝L3 5×10-26 5×10-17 5×10-8 5×101 表 面 积 m2 S∝L2 10-18 10-12 10-6 1 速 度 m/s v(假定 ∝L) (水分子) 300m/s 10-6 (1μm/s) 10-3 (1mm/s) 1 (1m/s) 响应时间 (水中) s τ∝L2 5×10-7 5×10-1 5×105 雷诺数 ρ:密度， μ：摩擦系数 Re