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科技前沿 非晶硅薄膜太阳能电池生产过程及关键设备介绍 杜容熠 （南京高新技术产业开发区管理委员会，江苏南京 210000） [摘 要] 简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺，特别介绍了等离子化学气相沉积（PECVD）反应沉积室四种结构和特点，以 及非晶硅薄膜电池生产设备的特点，以及未来发展方向。 [关键词] 非晶硅薄膜太阳能电池；镀膜技术；等离子化学气相沉积（PECVD）；工艺流程；反应沉积室 21 世纪人类社会将面临化石能源日益枯竭的挑战，因此可再生能 源越来越受到重视。太阳能光伏电池技术是可再生能源中最具商业应用 价值的技术之一。太阳能光伏电池是利用半导体材料的伏安特性，将太 阳能转化为电能的装置。 从1953 年美国贝尔实验室生产出人类第一块晶硅太阳能电池，到 目前为止太阳能电池已经发展了三个阶段：第一代晶硅太阳能电池：包 括单晶硅、多晶硅电池，它们是太阳能电池市场的主流产品，技术成 熟，效率较高，但是生产能耗高，生产过程污染环境；第二代是薄膜太 阳能电池，主要有非晶硅薄膜电池（a- Si）、碲化镉薄膜电池（CdTe）、 以及铜铟硒薄膜电池（CIGS）等，其主要特点是使用了高吸收率的半 薄膜太阳能电池的基本结构图 导体材料，只需要使用晶硅电池1/100 厚度的薄膜就可以全部吸收太 1.3 非晶硅薄膜电池镀膜生产工艺 阳光的可见光部分，因此用量省，耗能低，技术简单，成本更低。第三 硅薄膜电池的工艺流程 代是以染料敏化和有机物材料为代表的更低成本的光伏技术，特点是几 乎不用稀有元素和传统半导体材料，成本有望更低，但是目前仍处于实 验室研究和效率提供阶段。 非晶硅薄膜太阳能电池的自身特点决定了在未来的市场竞争中， 其将成为太阳能电池家族中的重要产品。下面将详细的介绍非晶硅薄膜 太阳能电池的基本原理，以及生产过程中的各个关键步骤。 整个非晶硅薄膜电池的生产过程由清洗透明导电玻璃（TCO）、第 1 非晶硅薄膜太阳能电池电池简介 一次激光刻划、等离子增强化学气相沉积（PECVD）、第二次激光刻 1.1 非晶硅薄膜电池的发展史 划、磁控溅射镀膜、封装测试、热老化等步骤组成。 20 世纪60 年代随着辉光放电法（glow discharge）薄膜制成技 1.3.1前处理 术的突破，使得非结晶状态的薄膜硅能够沉积在普通的玻璃基板上。在 前处理包括：清洗透明导电玻璃（TCO），第一次激光刻划和预热 美国RCA 实验室Carlson 和Wronski 的共同努力下，第一块非晶硅薄 等步骤。高质量的膜层通常要求薄膜和基板结合牢固、致密、无针孔缺 膜太阳能电池于1976 年问世。 陷, 因此必须使薄膜沉积在清洁、具有一定温度的基板上。为此前处理 1.2 非晶硅薄膜电池的发电原理与结构 的过程包括清洗透明导电玻璃（打磨、毛刷水洗、去离子水冲洗、冷热 非晶硅薄膜电池与晶硅电池的发电原理相似。基本发电原理是由 风刀吹净）、预热等。 N 型半导体与P 型半导体通过适当的方法组合到一起，在二者的交界处 经过清洗的透明导电玻璃（TCO）被送入激光切割器内，其薄膜 形成了P- N 结，当太阳光照射到电池上时，电池吸收的光能分别在P 表面将被切出隔离线，刻划成相互独立的部分，目的是将整板分为若干 结和N 结产生光生电子对—空穴对，光生电子和空穴在电池内部电场 块，每块通过串联或者并联连接，并作为若干个单体电池的电极。切割 的作用下被分离，空穴漂移到P 侧，