检测技术 教学配套课件 卜云峰 主编 第九章.pdfVIP

第九章 湿敏传感器 第一节 概 述 第二节 湿敏传感器的主要参数 第三节 湿敏元件 第四节 湿敏传感器的应用 第一节 概述 精密仪器、半导体集成电路与元器件制造场所，气象预 报、医疗卫生、食品加工等行业都有广泛的应用。 湿度传感器依据使用材料分类： 电解质型：以氯化锂为例，它在绝缘基板上制作一对电 极，涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解，并产生离子 导电，随湿度升高而电阻减小。 陶瓷型：一般以金属氧化物为原料，通过陶瓷工艺，制 成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸气 的敏感特性而制成。 高分子型：先在玻璃等绝缘基板上蒸发梳状电极,通过浸 渍或涂覆,使其在基板上附着一层有机高分子感湿膜。有 机高分子的材料种类也很多,工作原理也各不相同。 单晶半导体型：所用材料主要是硅单晶，利用半导体工 艺制成。制成二极管湿敏器件和MOSFET湿度敏感器件 2 一、湿度表示法 空气中含有水蒸气的量称为湿度，含有水蒸气的空气 是一种混合气体。主要有质量百分比和体积百分比、相 对湿度和绝对湿度、露点（霜点）等表示法。 1、质量百分比和体积百分比 质量为M 的混合气体中，若含水蒸气的质量为m ，则 质量百分比为 m ／M ×100％ 在体积为V 的混合气体中，若含水蒸气的体积为v，则 体积百分比为 v ／V ×100％ 这两种方法统称为水蒸气百分含量法。 3 2、相对湿度和绝对湿度 水蒸气压是指在一定的温度条件下，混合气体中存在的水蒸 气分压(p ) 。而饱和蒸气压是指在同一温度下，混合气体中所含水 蒸气压的最大值(p s) 。温度越高，饱和水蒸气压越大。在某一温 度下，其水蒸气压同饱和蒸气压的百分比，称为相对湿度 p RH  100% p s 绝对湿度表示单位体积内，空气里所含水蒸气的质量，其定义为 m m——待测空气中水蒸气质量； v V V——待测空气的总体积； ρ——待测空气的绝对湿度。 v 如果把待测空气看作是由水蒸气和干燥空气组成的二元理想混合 气体，根据道尔顿分压定律和理想气体状态方程，可得出： pM P ：空气中水蒸气分压；M ：水蒸气的摩尔质  RT 量 4 3、露（霜）点 水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降。在同样的空气 水蒸气压下，温度越低，则空气的水蒸气压与同温度下水 的饱和蒸气压差值越小。当空气温度下降到某一温度时， 空气中的水蒸气压与同温度下水的饱和水蒸气压相等。此 时，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠，相对湿 度为100％RH 。该温度，露点/ ℃ 90%RH 称为空气的露点温度， 50 80%RH 70%RH 简称露点。如果这一温 60%RH