SnO2基COCH4气敏元件的研究.pdfVIP

第29卷第3期 《陶瓷学报》 V01．29．No．3 2008年9月 JOI乐NAI，0FCERAⅣⅡCS Sep．2008 Sn02基CO／CH4气敏元件的研究 张小水 肜建娜 王利利 祁明锋 娄巧云 (郑州炜盛电子科技有限公司，河南郑州：450001) 摘要 以溶胶凝胶法合成的sn02纳米粉体为基料，制备了平面厚膜CO／CH,气敏元件。实验研究了配方中添加有机硅化合物和稀 土材料、加热器阻值对元件性能的影响。结果表明：通过控制合适的条件，可使元件对CO和CI-h气体都有很好的灵敏度，且CO 和cH‘气体之间不存在相互干扰现象。 关键词sn02，纳米粉体，CO／CH,气敏元件，平面厚膜工艺 中图分类号：TP212文献标识码：A (2)元件处于低温时对一氧化碳要有良好的敏 1引言 感特性而对甲烷不敏感； (3)元件在甲烷气氛中由高温切换到低温时，脱 随着科学技术的发展，矿井安全生产、合成气工 附后的信号值要远远低于低温时元件对一氧化碳的 业及日常生活等领域对监测有毒(co)和易燃气体响应值； (cI-I。)气敏元件的需求日益增加。如果能将CH4和(4)在空气中，元件工作状态由高温切换到低温 CO的检测合二为一，则可提高环境检测的效率，减 状态至下—个高温状态来临之间，元件的输出值要 轻检测人员的装备和携带负荷。虽然目前市场已有 远远小于对一氧化碳的响应值。 双气体检测的器件，但此类元件普遍存在低温状态 2．2实验过程 下零点漂移大，气体难以脱附，元件在高低温转换时 2．2．1低阻值Sn02基料的合成 灵敏度交叉干扰很大等问题。 将一定量的SnCh·5H20溶于水，以氨水滴定，得 针对上述问题，本文应用纳米Sn02粉体作为基混合物凝胶。同时，将少量的SbCl3溶于乙醇，得到混 体料，通过有机硅和稀土元素的掺杂等方法，成功制 合溶液，将此溶液倒入混合物凝胶中，搅拌，混合均 备了能够有效实现低温检测CO气体、高温检测C地 匀。离心分离洗涤，将得到的沉淀烘干、烧成，即得低 气体的双功能气敏元件。 阻值的Sn02基料。 2．2．2气敏元件的制备 2实验 通过丝网印刷的方式，在舢p。陶瓷片上形成电 2．1实验目标 该元件除符合普通气敏元件的常规性能要求之 外，尚须满足如下特殊要求： (1)元件处于高温时对甲烷要有良好的敏感特 性而对一氧化碳不敏感； 图1产品结构 Structure Fig．1 of竹怕product 247 陶瓷学报)2008年第3期 a b C d c f 卜．} ；＼一 } — 。L．r L ． ‘ 1L ‘‘一‘