大功率TEA CO2激光器非稳腔的设计与实验.pdfVIP

第2卷 第3期 中国光学与应用光学 V0I．2 No．3 2009年6月 ChineseJournalofOpticsandAppliedOptics June2009 文章编号 1674-2915(2009)03-0253-05 大功率TEACO2激光器非稳腔的设计与实验 郭汝海，李殿军，杨贵龙，张来明 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033) 摘要：为在不降低传统稳腔高功率TEACO：激光器功率的基础上，改善其光束质量。本文基于原有的稳腔激光器，设计 了3组望远镜虚共焦腔镜。给出了完整的设计过程并进行了理论分析，同时对不同组的非稳腔激光器进行了对比实验。 结果表明，非稳腔能够在保证高单脉冲能量的基础上极大地改善激光器远场发散角 ，其中最佳腔镜组合能够获得单脉冲 能量 13．7J，发散角 1mrad(稳腔为 2．4mrad)，激光脉宽50ns(稳腔为98ns)。改进的设计方案为TEACO 激光器应用 于激光制造领域奠定了基础。 关 键 词：TEACO，激光器；非稳腔；光束质量；远场发散角 中图分类号：TN248．22 文献标识码 ：A Design and experimentofunstableresonatorfor high-powerTEA CO2laser GUORu-hai，LIDian-jun，YANGGui—long，ZHANGLai—ming (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Withtheaim toimprovethelaserbeam qualityandtokeepthehighoutputpowerforahigh—power TEA CO2laser，threesetsoftelescopicpositive—branchconofcal resonatorsaredesignedbyusingaunstable resonatorschemebasedonaoriginalstableresonator，andthewholedesign processandtheoreticalanalysis aregiven．Thecorrespondingcomparisonexperimentsareconductedofrsingle—pulseenergy，divergenceangles andpulse duration time．Experimentalresultsindicate thatusingunstableresonatornotonly can largely improvethedivergenceangle，butalso canmaintain thehigh single—pulse eneryg ofrtheTEA CO2laser． Whenthedesignedunstableresonatorisinthebestcombinationstate，itcanprovidethesingle-pulseenergyof 13．7J，adivergenceangleof1mrad(stableresonatoras2．4mrad)andthepulsedurationtimeof50BS (stableresonatoras98BS)，whichshowsthisworkwillcontributetothiskindoflasertobewidelyusedinthe fieldoflasermanufacture． Keywords：TEA CO2laser；unstableresonator；beam quality；divergenceangleoffarfield 收稿 日期：2009-03—16修订 日期：2009-05．15