耐高温智能压力检测仪的探究.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.04万字
约 3页
2017-08-17 发布于安徽
举报
版权申诉

耐高温智能压力检测仪的探究.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

2。固簿5全国博士生学术论坛耐高温智能压力检测仪研究王权1丁建宁1葛树群2王文襄3 (1．江苏大学微纳米科学技术研究中心江苏镇江212013 2．大连机车厂辽宁大连116021 苏州，215325) 3．昆山双桥传感器21试技术有限公司，江苏摘要：机械式压力检测装霞无法满足在高温、高压和振动冲击等恶劣环境下压力检测的使用要求；采用了耐高湿压阻式压 Oilinsulator) 力传感器作为压力枪测器件取代机械压力表，用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术的SOI(silicon 晶片往微加工平台上制作的传感器硅芯片，完成耐高温封装，并配置了放大电路，研制了智能压力检测仪，从而保证了测试结果的科学性、真实性和合理性。关键词：压力检测；SIMOX；压阻式压力传感器；放大电路中图分类号：TP212．2 Researchof Pressure IntelligentHighTemperatureGage WANG 2，WANG 3 Quanl．DINGJian-nin91，GEShu．qun Wen．xiang (1．CenterofMicro／NanoScience 2．Dalian 1 16021 gasenginefactory,Dalian 3．Kunshan SensorMeasurementCo．LTD．Suzhou21 Shuangqiao Controlling 5325) Abstract：Forthe of measurementinharsh sensoris environment，ahi【gh purposespressure temperaturepiezoresistivepressure to themechanical strain of sensoris andfabricated presentedreplace pressuregage．Thegaugechippiezoresistivepressure designed inthe UseSthe basedonSIMOX micro-machiningworkshop．ItSOlmaterial technology．Throughhightemperaturepackaging to the sensoristestified、棚th andexcellent an circuitisused normal process．the preciseaccuracy stability．Thenamplifier get signal andanovel isobtained． intelligenthightemperat