奈米流体制程电导度量测系统之的探究.pdfVIP

第4卷增刊 过程工程学报 V01．4 Suppl 2004年8月TheChineseJournalofProcess Engineering Aug．2004 奈米流体制程电导度量测系统之研究 龙仁光1，田德之2，叶志钧1，钟清枝2，卓清松3’，高文秀1 (1台北科技大学电机工程系．台jt 摘 要：奈米微粒的监测与控制技术，目前处于研究阶段，信息十分有限．本文的目的是建立 奈米电导度自动量测系统，应用于奈米制程上．本系统采用潜弧奈米合成系统(SANSS)生产奈米流 体，并于制程中自动量测其电导度；且撷取回授电流经过滤波，再传送至A／D模块、PLC、计算 机，完成奈米流体生产制程之监控与建立电导度自动量测系统．奈米制程中之离子化放电亦以 IsSpice软件作仿真分析，再与实际系统做比较，并克服噪声干扰问题．本系统经再三测试，实现 了奈米流体稳定的生产及电导度自动量测，可作为发展奈米技术之参考． 关键词：奈米：电导度：潜弧奈米合成系统；可程控器(PLC) 1 前言 奈米科技是由新产业革命中所引发的科学技术，目前受到极大的注目．奈米科技是以奈米(十 亿分之一米)的微细技术与组装原子和分子的技术等微细世界作观察、操作的技术，其发展在于奈 米尺度的材料中发现新的功能的科学技术．因此奈米科技在所有的领域造成突发猛进的革新，对于 研究者和技术人员而言是今后不可忽略的关键技术【I刈． 奈米科技之所以在近期崛起窜红，因为奈米科技不仅把东西变小而已，更改变了其物理特性 [5-61，产生许多出乎意料的新结构及新用途，等待着人们去创新、利用以制造出前所未有、想象不 到的、具有新颖特性的产品．故奈米科技正以改变信息科技、生物科学、环境、能源、材料等所有 领域的基本技术的姿态将逐渐展现出来．至于奈米科技发展至今可能为生态环境及人体健康所带 来的冲击与影响仍处于未知．奈米微粒的监测与控制技术目前多处于研究阶段，信息十分有限．本 研究的目的，是针对奈米的导电度，以建立一套奈米流体程电导度自动量测系统，利用测得导电 度之资料，分析奈米流体之分散度与粒径与导电度之关系．以电导度量测当作耐米制程控制条件之 因素在文献上并不多见，故建立一套奈米流体制程电导度自动量测系统，未来做为SANSS奈米制 程技术之依据【7础J． 2 系统简介 本系统主要的目的是建立一套奈米流体制程电导度自动量测系统，针对奈米的电导度，以及 利用所测得之电导度资料I引，分析奈米流体之分散度与粒径与电导度之关系，做为SANSS奈米制 程技术之依据．SANSS制程系采用低温低压力之潜弧奈米合成系统，与一般常温常压之放电加T 制程不同．图1为奈米流体制程与电导度自动量测系统架构图，本系统主要是由SANSS制程系统 液体中进行离子化放电工作，并在放电电路中藉以电流回授电路连接A／D转换器，将电流讯号传 ext 通汛联系人：龙仁光．电话(02)277121712127，E-mail：lung@∞ntut．edutW 34 过程工程学报 第4卷 送至PLC进行处理与判断，若放电电流不足，则工作台继续下降：若电流超出限制，则工作台上 升，以此工作模式运作，则可保持持续放电工作．至于电导度量测系统，主要以电导度测试机 (ALTEX公司Conductivity STAMFORD)将不同时间测得之电阻值绘成连续曲线，再作分析．本系统各部份分述如下． 图1系统架构图 2．1放电电路 在放电过程中，本系统利用纯碳电极，作成放电电极二端，放电的同时，利用瞬间的放电能 量．本系统所使用的为典型的f电容法j放电回路，细线部份代表充电回路，粗线部份为放电回路， 电容cd透过电阻凡充电，电压上升，此电压圪达到某数值以上时，并配合加工电极间距的控制， 使介于加工电极间之加工液薄膜被破坏而产生火花放电，而火花放电发生时，电极间