强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜.pdfVIP

第33卷 增刊3 稀有金属材料与工程 、，01．33，Suppl．3 2004年 12月 RAREMETALMmRIAI，SANDENGD4EER矾G December2004 强激光负载S01．Gel减反膜和防潮膜 唐永兴，李海元，严海华，乐月琴，贾巧英，刘瑞军 (上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室，上海201800) 摘 透明的悬胶体涂膜溶液。采用浸渍提拉法涂膜。研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性，TEM测量了悬胶体内部Si02颗 粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态，研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜。涂制多孔Si02减反膜后x9和 石英玻璃，单波长表面反射率减少约7．5％，激光破坏阈值15J／cm2，l053nnl，1ns；涂制防潮膜减反膜的KDP晶体，双 波长表面反射率减少6．5％一7．5％。膜层表面均匀性优良。J 关键词：强激光负载；溶胶．凝胶；减反膜；防潮膜 中图法分类号：0484．1 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2004)S3．125—04 053 个核心元件。波长1 nm的基频激光经过二块I①P 1 前 言 减反(Antirenective)膜应用于在光学系统的窗口3倍频激光。KDP晶体具有优良的光学性能和易生长 和透镜表面可以减少元件表面引起的反射。在“激光 成大尺寸晶体的优点，同时也有易潮解和易脆裂的缺 Confinement 惯性聚变”(Inertial Fusion，简称ICF)科点。随着ICF激光器的升级，激光束功率和能量密度 学工程的应用中，S01．Gel多孔Si02减反膜与传统的 真空法膜层相比，具有室温大气环境下可涂膜、良好 的光学性质、低成本和高激光破坏阈值的优点。 在正硅酸乙脂(TEOS)的水解缩聚过程中，Stober涂制防潮膜防止晶体潮解。然后提拉涂制第2层多空 等人【1】采用碱催化技术，首次制备了含有Si02固体颗二氧化硅减反膜。 在“神光一II”装置中激光束的能量经过多级放 粒的悬胶体(ColloidalSuspension)，其中Si02固体颗 粒的尺寸大小分布是可控制的。基于碱催化原理， 大器后到达靶场时能量最大，到达物理实验用的靶室 Ybldas【2】和Thomas【3】分别研带0了S01．GelNa20．B203．时已经转换为3倍频的激光，此时靶室的石英玻璃窗 口、打靶透镜和防溅射屏是最容易被打坏的，开始时 Si02和多空Si02减反膜。S01．Gel多孔Si02减反膜【3】 的激光破坏阈值高于真空蒸发(PVD)膜层的阈值。使用真空法减反膜层发现膜层特别容易被激光破坏。 Belleville和Floch【4】对于S01．Gel多孔Si02减反膜进行作者研制的多空二氧化硅减反膜使用后基本不再出现 氨水的气氛处理后，使膜层的破坏阈值有所提高，并 膜层破坏的现象。 且很好地改善了膜层的机械强度。Semon等人【5】在 本文总结了作者近10年的研究结果，主要介绍应 Si02悬胶体的制备过程中加入有机载体聚乙二醇用于“神光一II”装置的S01．Gel减反膜和防潮膜。 (PolyethyleneGlycol，简称PEG)，发现Si02．PEG凝胶 2实验 膜层的破坏阈值有大幅度提高。上述制备Si02悬胶体 的过程全部在室温下进行。目前，美国Lawrence多空Si02减反膜涂膜液制备：采用真空蒸馏方法 LivemoreNational Laboratory(LLNL)Thomas叫研制提纯原材料正硅酸乙脂，配制不同比例的 的大面积Si02减反膜(折射率1．22～1．23)的激光破坏阈 值是其