镍硅纳米线复合材料制备及应用研究.docVIP

镍硅纳米线复合材料制备及应用研究 【摘要】：在最近的几十年里,低维纳米结构材料的制备、表征和应用已经引起人们极大关注,而硅基纳米结构材料更是因为具有与传统集成电路工艺的兼容性以及相比体硅材料所显现出奇异的物理和化学特性,成为制备微纳电子器件最理想的材料之一,是当前纳米技术领域的研究热点问题。本文以未来“可集成微电源的多维一体化微纳传感器片上系统”为假定目标,开展了如下几个方面的研究工作：第一,开展有关金属诱导化学湿法硅纳米线(SiliconNanoWires,SiNWs)阵列制备和SiNWs表面无电镀镍(nickel,Ni)修饰机理的理论与实验研究,并对制备的SiNWs和Ni/SiNWs样品进行扫描电子显微镜(Scanningelectronmicroscope,SEM)、X射线能谱(Energydispersivespectroscopy,EDS)、RCL数字电桥(ResistanceR,CapacitanceC,InductanceL,RCLDiditalBridge)和拉曼光谱(Ramanspectroscopy)表征,其结果对未来低成本、图形化SiNWs制备和表面修饰工艺的改进有一定指导意义,也为硅基SiNWs的实践应用作了必要准备。第二,开展Ni/SiNWs纳米复合结构材料电容型湿度传感器应用研究：在基于LabView虚拟仪器构建的金属盐饱和溶液标准湿度检测系统上,对所制