氧化铟气敏材料的制备与特性.pdfVIP

第33卷 第10期 稀有金属材料与工程 V61．33．No．10 2004年 lO月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERrNG October2004 氧化铟气敏材料的制备与特性 刘秉涛1，姜安玺1，徐甲强2 (1．哈尔滨工业大学，黑龙江哈尔滨150090) (2．郑州轻工业学院，河南郑卅I450002) 摘 要：用化学沉淀法合成微细的氧化铟气敏粉体，选用几种稀有贵金属掺杂氧化铟粉体，用D／maxrAx射线衍射仪 测定粉体相结构，用RQ一2型气敏特性测试仪测试氧化铟气敏元件的气敏特性，绘制了掺杂后氧化铟粉体对几种气体的 灵敏度．温度曲线。结果表明，氧化铟气敏材料电阻值适中，响应恢复快，气体灵敏度高，可对多种气体实行专一检测 或同时检测。 关键词：氧化铟：气敏材料；制备；特性 中图法分类号：TN304 文献标识码：A 文章编号：l002．185x(2004)10．1093．03 成铟盐溶液，再加适量氨水，不断搅拌，控制DH在 1 前 言 10时，得到氢氧化铟胶体，沉淀完全后，用蒸馏水不 氧化铟的晶胞中包含16个In203分子，是1种n断洗涤，然后将胶体在强力搅拌下与正丁醇混合，进 型半导体材料，具有方铁锰型晶体结构，26℃测得晶 行共沸蒸馏，将沉淀在100℃干燥24h，750℃煅烧而 8 体常数仅=1．011nm，格子中的四面体间隙位置有3／4 成。结构表征用X射线衍射仪。 为氧离子占据，1／4空着，直接带隙的测量值是3．75eV， 取筛分后的氧化铟粉体，用水调成糊状，按一定 主要缺陷有氧空位和间隙铟离子…，氧化铟用作气敏 添加剂及低浓度氧化性气体和的检测已有一些报道， 及少许纯浓氨水，搅拌，至pH=11～12，沉淀物经研磨， 但是以氧化铟为基体的气敏粉体材料用作汽油、乙醇、 干燥，750℃煅烧得到贵金属掺杂氧化铟粉体。 氨气、丁烷的研究不多【2，3]，本实验研究氧化铟气敏粉 2．3氧化铟为基体的气敏元件的制备和-眭能 体的制备，用共沉淀法制备了Ru，Rh，Au，Ag，Pd实验中采用烧结法制作旁热式气敏元件，将气敏 掺杂的氧化铟粉体，考察贵金属掺杂后对以氧化铟为 材料均匀涂在陶瓷管上，750℃下进行热处理，240℃ 基体的气敏粉体的影响，用静态配气法测试氧化铟旁 条件下老化48 h。用静态配气法测试氧化铟旁热式气 热式气敏元件的气敏特性，结果表明，氧化铟气敏材 敏元件的气敏特性，按恒流法分别测定元件在空气中 料阻值适中，响应恢复快，气体灵敏度高，可对多种 的电阻尺。，检测气氛中的电阻尺。，用R以。表示气敏 可燃气体、毒害气体实行专一检测或同时检测。 元件的灵敏度卢，用以侈B表示气体A对气体B的选 择性系数七。汽油、乙醇的气体浓度为0．01％(体积分 2 实验方法 数，下同)，氨气、丁烷的气体浓度为O．1％。 2．1试剂及仪器 3结果与讨论 纯铟粉，HAuCl4，AgN03，PdCl2，RuCl3，RhCl3， 正丁醇及氨水(为分析纯试剂)。 3．1 氧化铟气敏材料的结构表征 用D／MaxrA转靶X射线衍射仪(日本理学公司)，氧化铟气敏粉体经750℃处理后，用X射线衍射 测定粉体相结构，用RO．2型气敏特性测试仪测定气 仪及透射电子显微镜对氧化铟气敏材料进行结构表 敏特性。