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生物传感用巨磁电阻传感器及其磁珠检测性能.pdf
第29卷第4期 真空科学与技术学报
2009年7、8月 CHINESEJOURNAI．OFVAC删S(：ⅡNCEANDTECHNO“)C了 359
生物传感用巨磁电阻传感器及其磁珠检测性能
王永强 冯 洁。 陈翔李福泉石海平
(上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，
薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240)
DetectionofCommercialMicrobeadswith
Magnetic
Giant ResistanceSensors
Magneto
Jie。，Chen Fuquan，Shi
WangYongqiang，FengXiang，Li Haiping
Fabrication Film
(Nat／ona／研laboratoryofMicro／NanoTechnology，研肠钿锄町加Thinand榭∞膨疏叻锄Technologyof
and
andNanoienee
Ministryof＆h洳，InstituteofMicro Technolo彰，ShanghaiJiaaong 200240，Ch／na)
Unizersity，Shanghai
Abstract withlab-
The detecteda
by跏alBiotech，were
commercial“MyOne”magneticmicro-beads，provided
wasfabricatedwith mul-
resistance(GMR)sensor．The鸵nsorNiFeCo(buffer
built，magneto
aGMRvalueof dc characteristicsofa GMR8ensorwere
ti蛳璐with 9．8％，grownby magnetronsputtering．The single
Wheatstone comtructed twoGMRsensorsandtwo
a
tested．Then，aCMR-Bridge，resemblingbridge，was byconnecting
external resistorstodetectthebeads．Theinfluenceofthe onthe ofthe in
adjustable bead-coverageresponseGMR-Bridge
avertical inavertical studied．Theoffeature
field，and
varyingmagnetic pulsedmagneticfield，respectively，wasimpact
oftheGMRsensor
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