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4 1 5 Vol. 4 1 No. 5
第 卷第 期 广 州 化 工
2013 3 Guangzhou Chemical Industry March. 2013
年 月
硅烷的纯化技术与检测分析方法
， ， ， ，
窦仕川 唐安江 韦德举 宗 原 张妙鹤
( 贵 州大学化学与化工学院，贵 州 贵 阳 550025)
摘 要: ， 。 。
高纯硅烷主要用于电子和半导体行业中 是一系列含硅化合物的基本原料 概述了硅烷的纯化技术和分析方法
、 、 ; DID、PDHID — 。
纯化技术有吸附法 冷冻法 精馏法 检测分析方法包括 气相色谱分析仪和气相色谱 质谱联用分析仪
关键词: ; ; ;
硅烷 纯化技术 检测 分析
: : :
中图分类号 TQ117 文献标识码 A 文章编号 1001 － 9677 (2013)05 － 0043 － 04
Purification Technology and Detection Analysis Method of Silane
DOU Shi － chuan ，TANG An －j iang ，WEI De －j u ，ZONG Yuan ，ZHANG Miao － he
(School of Chemistry and Chemical Engineering ，Guizhou University ，Guizhou Guiyang 550025 ，China)
Abstract :High purity silane was mainly used for electronic and semiconductor industry ，which was a series of basic
raw materials of silicone － containing compound. The purification technology and analysis method of silane were summa-
rized. Purification technology included adsorption method ，freezing method ，and distillation method. Detection analysis
method included DID ，PDHID gas chromatographic analyzer and chromatography － mass spectrometry analyzer.
Key words :silane ;purification technology ;detection ;analysis
SiH ， 好的效果。 SiH ， － 80 ～ － 10 ℃
4 在电子工业和半导体工业中应用非常广泛 主要用于
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