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维普资讯 单 晶硅厂洁净厂房设计及 效果一一 沈厚正 ‘il ‘ 单晶硅厂洁净厂房设计及效果 北京有色冶金设计研究总院 沈厚正 -3D斗 句 ． 摘 要 晶硅厦硅片生产对生产环境的洁净度霹求高 奉文评述了利用旧厂房改是，怔 一 配置和空调净化系统设计上 ．采取有效措麓 ，使各生产工序达到不同的洁净等级，经过宴测表明效 果 显 著| 关键词 单晶硅生产 洁事度要求 生产环境 伤 谣计 ． — — … _ _ _ 一 — — — — — — — — ／ ／ l 主片