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2014年第 6期 信 息通信 2014 (总第 138期 INFoRMATION C0MMUNICATIoNS (Sum．No 138) 一 种中红外波段超材料结构吸波性能研究 关淘淘，陶 金，蓝 武 (电子科技大学微电子与固体电子学院；电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) 摘要：对一种AI／A1203／A1多层膜结构的中红外超材料吸波体的吸波性能进行了研究，并分析了其吸波机理。该结构最 上层为周期性排布的正方形Al膜阵列，中间介质层和底层分别为连续的A1203和A1薄膜。仿真结果表明，该多层膜 结构理论上能够在 lO：6tn实现完美吸波。 关键词：超材料吸波体 ；中红外波段 ；吸收率 中图分类号：TB332 文献标识码：A 文章编号：1673．1131(2014)060026．02 O引言 增大先增大，在 t--0．16 1时达到最