介质上电润湿现象地研究.pdfVIP

第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月 介质上电润湿现象的研究+ 曾雪锋 董 良 吴建刚 岳瑞峰 刘理秉 (清华大学微电子学研究所北京 摘要介绍了介质上电润湿的基本原理，分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响，并提出了优化介质薄膜厚度的 方法，为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础。 关键词 电润湿介质上电润湿接触角 厌水层 ofthe Study Wu Yue Liu ZengXuefengDongLiang JiangangRuifeng (Instituteof Microelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing It the Abstractintroduces of theeffectofthe principle dielectricconstantofmaterialsofthedielectriconthe ofthecontact forwarda layer puts way change angle，and to thethicknessofthinfilmsof further forthe of optimize EWOD，which provide theorysupport EWOD． words Contact Key ElectrowettingElectrowetting——on——dielectricHydrophobiclayer angle 1 引 言 2理论研究 电润湿是指通过调整施加在液体一固体电极之间 如图1所示，当施加电势时，两个金属电极之间的 的电势，来改变液体和固体之间的表面张力，从而改变 绝缘层和导电液体构成了一个电容。这里，笔者忽视导 了两者之间的接触角。较早的电润湿现象是在导电金 电液体上的电压降，认为电压全部施加在绝缘层上。采 属衬底和电解质溶液之间观察到的，但是液体中的大 用最简单的平板电容器近似，液滴和固体表面的接触 电流和微弱的接触角角度改变限制了电润湿的应用。 面积为s，绝缘层的厚度为h，则电容C为： 在液体和电极之间加入一层绝缘物质，就可以通过施 c一￡。￡。S1liqr--sol 加大电压来增加接触角的变化，而不会在液体中产生 e。和e。分别是真空和绝缘层材料的介电常数。当 很大的电流。为了和传统的电润湿现象相区别，这种现 在底部的金属电极和顶端的金属丝电极之间施加电压 象叫做介质上电润湿。目前，已经报道了利用介质上电