TFT-LCD行业降低全氟化碳(PFC)排放地研究.pdfVIP

TFT-LCD行业 F 降低全氟化碳(PC)排放的研究 毛宗雄张亚萍 (中国洗净工程技术合作协会北京100102) 摘要全氟化碳是温室气体，大量排放到大气中将会严重污染环境，在薄膜晶体管液晶显示器的生产过程中需 要用全氟化碳做等离子刻蚀的反应性气体和在化学气相沉积工艺中做清洗气体，为减少使用过程中全氟化碳的对外排 放，国外的TFT—LCD企业作了大量的工作，特别是日本、韩国、我国的台湾地区。文章介绍了全氟化碳温室效应的计 算方法，全氟化碳在TFT-LCD制造过程中的具体应用、国外为减少全氟化碳排放采取的措施，相信这些经验对处于起 液晶显示器刻蚀化学气相沉积 emissionhasadverse ontheenvironmentand gas，PFC impact causessevere InLCD isusedasreactivein pollution． manufacturing，PFC gas plasmaetchingprocess and inCVD in KoreaandTaiwan gas process．TFT—LCD Japan，South cleaning manufacturers，particularly havemade efforttoreducePFCemission．Thisintroducesthemethodfor _ region great paper calculating PFC ofPFCinTFT—LCD andthe takensome GIvP，thespecificusage manufacturingprocess techniquesby manufacturersforPFCemissionreduction willserveas foreign Hopefully．theirexperience good TFT referenceforthedomesticLCD initSinitial industry development house Keywords：PFCs，greeneffectiveness，TFT—LCD，etching，CVD 覃羊嚣*辩p海拜母 Noo^羊嚣*E#事虾 1．前言 薄膜晶体管(TFT)液晶显示器是在扭曲向列(TN)液晶显示器中引入薄膜晶体管开关而形成的有源矩阵显示， 从而克服无源矩阵显示中交叉干扰、信息量少、写入速度慢等缺点，大大改善了显示品质，使它可应用到计算 机高分辨率全色显示等领域。液晶显示器(LCD)自上世纪90年代初面市以来，由于它具有节能、节约自然资 源和节省空间等优点市场容量迅速扩大，目前LCD显示器的使用范围已扩大到多个应用领域，如