渐变折射率波导地研究.pdfVIP

第五届全国光子学大会会议论文集 第三分册：集成光学 渐变折射率波导的研究 5 曹庄琪 朱海东 沈启舜 邓晓旭 上海交通大学物理系，上海200240 摘要：本文用转移矩阵理论分析了渐变折射率波导，提出了全波波矢的概念,得到了解析 的精确色散方程.同时提出了利用表面等离子波测量渐变波导近表面折射率的理论和实 验方法.最后用逆分析转移矩阵方法确定了渐变波导的折射率分布. 关键词：渐变折射率、色散方程、表面等离子波。 0 引言 渐变折射率波导是集成光学和微电子器件领域的基本元件，其折射率分布不仅是有关器件设计 的基本参数,而且还能为波导制备过程中各类参数的选取提供有用的信息. 因此, 渐变折射率波导色 散性质的研究和折射率分布的确定一直是导波光学的重要任务. 三十多年来已发表了大量的研究论 文, 包括数值方法和分析方法. 数值方法可达到任意预先指定的精确度, 但缺乏清晰的物理意义; 分 析方法中, 除少数几种特殊的折射率分布具有精确解外,绝大部分需依靠近似技术. 其中, WKB 近 [1] 似 由于具有简单的形式和明确的物理意义, 因而到目前为止仍是应用最广泛的一种方法．但 WKB [2-5] 近似仅适用于变化缓慢的折射率分布和远离转折点处的解. 虽然已建立许多改进的方法 试图改善 WKB 近似的精确度, 但这些方法仍基于WKB 近似的框架,无法取得突破性的进展. 本文采用分析转移矩阵方法(ATM)[6-8] , 首先对渐变折射率波导的研究成果进行了总结. 得到以 下几条结论 (1) 指出了WKB 近似忽略的反射子波的位相贡献; (2) 转折点处的相移是π , 而不是π 2 或其它数值; (3) 提出了全波波矢的概念, 得到了简单但精确的色散方程. 其次, 在现有的测量折射率分布的逆方法中, 确定波导表面折射率均采用数学方法, 缺乏实验基础. 本文提出在波导表面制备一层金属薄膜, 通过激发表面等离子波来测量波导近表面的折射率, 并利 用逆分析转移矩阵方法得到了渐变波导的折射率分布, 所得结果远优于现有的方法. 5 渐变折射率平板波导色散方程 考虑图 1 所示的渐变折射率平板波导，折射率分布由下式确定：  2 2 2 ns + (nf − ns )f (x / d ) (x 0) 2  n (x)  (1)  2 (x 0) n0  式中, n 、n 和n 分别为波导衬底、表面和覆盖层的折射率, f (x / d ) 是折射率分布函数. 为 s f 0 了用转移矩阵求解，首先在远离转折点的 x 处截断，在 x 处假设场足够小，在 x x 处假设 c c c 有 n(x) n 。然后分割区域 (0,x ) 和 (x ,x ) 分别为l 和m 等份，每层的厚度均为h ，即有 c t t c 5 电话：021传真：021e-mail：zqcao@sjtu.edu.cn 6