激光二坐标测量装置不确定度模型的研究与建立.pdfVIP

激光二坐标测量装置不确定度模型的研究和建立 薛 梓 叶孝佑 孙双花 王鹤岩 杨国梁 中国计量科学研究院，北京 100013 摘要：随着集成电路制造中的光刻工艺日益成熟，利用光刻工艺制造的二维线纹标准器被大量应用于影像测 量仪、带视觉测头的坐标机和数字式显微镜的精度校准和评价。为了解决二维线纹标准器的校准和量值溯源问 题，研制了高精度激光二坐标测量装置，通过分析该测量装置的测量原理和机械、光学误差的作用机理，建立了二 维线纹标准器点坐标的测量误差模型，为了降低二维线纹标准器点坐标的测量不确定度，给出了降低和消除装置 几何测量误差的方法和步骤，建立了误差分离后的测量不确定度模型，并进行了不确定度分析和计算。 关键词：计量学；坐标测量；影像测量；激光干涉；测量不确定度；二维线纹标准器 TB921 A StudyandEstablishmentofUncertaintyModelfor LaserTwoCoordinatesMeasuringInstrument XUE Zi YEXiao-you SUNShuang-hua WANGHe-yan YANGGuo-liang NationalInstituteofMetrology,Beijing100013,China Abstract:WiththedevelopmentofphotolithographyusedinICmanufacturing,2Dphotomasksproducedwith photolithographytechnologyarewidelyusedtocalibrateandevaluatetheimagingprobemeasuringmachines,thecoordinate measuringmachineswithCCDandthedigitalmicroscopesystems. Inordertosolvetheproblemsofcalibrationand traceabilityofthe2Dphotomasks,alasertwocoordinatesmeasuringinstrumentisdeveloped. Byanalyzingthe measurementprincipleoftheinstrumentandtheerroreffectsbetweenthemechanicalandopticalsystems,anerrormodelof thepointcoordinatesonthe2Dphotomasksisestablished. Inordertoreducethemeasurementuncertaintyofthe2D photomasks,somemethodsandstepsforreducingandeliminatingthegeometricalerrorsintheinstrumentareintroduced,a measurementuncertaintymodelbasedontheerrorseparationisestablished,andtheuncertaintyofthepointcoordinatesof 2Dphotomasksiscalculated. Keywords:Metrology;Coordinatemeasurement;Imagemeasurement;Laserinterferometry;Measurementuncertainty; 2Dphotomask 2 计 量 学 报 2012年11月 像测量仪制造商都大量使用二维线纹标准器用于对 光刻机、影像测量仪、带视觉测头的坐标测量机、数 字显微镜等坐标设备进行修正补偿和评价¨J。光 刻制造的二维线纹标准器刻线质量好，其刻线宽和 间距在微米量级，制造精度在斗m或亚斗m量级，国 内以前不具备大范围亚Ixm量级的二维线纹校准能 力，高精度的大范围二维线纹标准器只能由国外有 关研究部门溯源校准旧“J。 2 二维线纹标准器的点坐标的数学模 型及不确定度模型的建立 中国计量科学研究院研制的基于激光干涉测长 和数字影像