亚沸蒸馏制取超净高纯盐酸工艺地研究.pdfVIP

第22届全国氯碱行业技术年会论文集 【产品】 亚沸蒸馏制取超净高纯盐酸工艺的研究 陈青如1．徐志刚2 (1．上海氯碱化工股份有限公司．上海200241；2．华东理工大学化工学院，上海200237) 【关键词】电子纯级盐酸；亚沸蒸馏；提纯 [摘要】介绍了一种通过氯化氢蒸发、气体净化、高纯水吸收、提纯等步骤制备电子纯盐酸的方法。采用 ICP—MS和离子色谱对按此工艺生产的盐酸产品进行了分析。结果表明，此工艺能够有效去除工业盐酸中的Fe、 Cu、Pb、As等金属的离子。 电子纯级试剂是电子技术微细加工制作过程中 元素周期表第1和I【族金属及其与氯化氢接触生成 的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗 的络合物，以及这些金属的氧化物和碳酸盐；第Ⅲ族 和腐蚀，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电 元素及其氧化物．以及这些元索卤化物的加合物”1。 性能及可靠性都有十分重要的影响。电子化学品是 在吸收容器中加入超纯水，以吸收蒸馏操作中解吸 基于微电子技术的发展而产生的，并随着微电子技 出来的氯化氢气体制成盐酸。超纯水的比抗阻应大 7 107 80X10 术的发展而发展；同时．又制约着微咀子技术的发 于1．77Xn·C111，最好是1 n·c1110如果 展。因此．电子化学品的研究和开发必须与微电子 在l吸收前去除氯化氢气体中的杂质．则在吸收容器 技术的发展、应用、衙求相结合才具有现实意义…。 中得到的盐酸纯度非常高．杂质质量分数会低于1 ×10一。 电子化学品的生产方法有蒸馏法、离子交换法、 1．2洗涤与过滤 晶析法等．但并不是所有的化学品都能用这些方法 在用高纯水吸收氯化氢气体之前，先过滤并清 得到净化。或者能够经济地达到所要求的净化程度。 洗气体。氯化氢通过过滤装置可以除去其中夹带的 如琉酸的净化常用石英塔蒸馏法，但该方法用于生 任何固体物质。采用的过滤装置可以是微滤、超滤 10”的产品则极不经挤， 产阳离子质量分数小于IX 以及薄膜装置。过滤后的气体再通过洗涤瓶洗涤。 而且由于产生较多废液而达不到环保要求。石荚塔 根据不同的洗涤目的按顺序放置洗涤瓶(至少两 蒸馏法在另一些产品(如盐酸、硝酸等)中的使用结 个)，定期排放洗涤瓶底部的洗涤液．除去其中累积 果也不能使人满意“1。 的杂质。在洗涤器中除去的杂质包括反应性、挥发 本文中介绍的超净离纯盐酸生产工艺，包括氯 性物质，如：金属卤化物，磷、砷和锑的卤化物，过渡 化氢的蒸发、气体净化、高纯水吸收以及最终提纯等 金属的卤化物。以及第m和Ⅳ族金属的卤化物。 步骤．是一种兼具高质量、经济性、环保性的电子化 1．3亚沸蒸馏 学品的生产方法。