改良西门子法生产多晶硅污染物排放调查.pdfVIP

第２８卷　第１３期 甘肃科技 Ｖｏｌ２８　Ｎｏ１３ ２０１２年７月 ＧａｎｓｕＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｊｕｌ　２０１２ 改良西门子法生产多晶硅污染物排放调查 １ ２ １ 闫维东 ，王秀凤 ，马　娟 （１宁夏回族自治区环境监测中心站，宁夏 银川７５００１１；２固原市环境监测，宁夏 固原７５４０００） 摘　要：通过调查企业改良西门子法生产多晶硅所使用的原料、生产工艺、各污染物产生环节、污染物处置措施、处 置设施及各种污染物的有组织排放浓度和厂界无组织排放浓度进行监测，对改良西门子法生产多晶硅排放的污染 物进行了全面的调查。阐述了改良西门子法生产多晶硅排放的污染物种类及各种污染物达标排放情况。 关键词：环境工程；改良西门子法；多晶硅；污染物；调查 中图分类号：Ｘ５１ ［５］ 　　我国多晶硅产业已在世界占有一定的优 西门子法生产多晶硅的污染情况众说不一 。通 ［１，２］ 势 ，在多晶硅的生产过程中，使用了硝酸、液氯、 过对各种污染物的排放状况调查，阐述了改良西门 氢氟酸，中间产品有一氯硅烷、二氯硅烷、三氯硅烷、 子法生产多晶硅排放的污染物种类和污染物的达标 ［３，４］ 氯硅烷 ，这些物质属于有毒有害危险化学品。 情况。 污染物的种类有有组织废气、无组织废气、废水、固 废等，各种污染物中有不同的污染因子。对于改良 １　主要产品及原辅材料（见表１） 表１　主要原辅材料消耗 ｔ／ａ　 烧碱 硝酸 氢氟酸 名称及规格 工业硅粉 液氯 生石灰 高纯石墨件 （ ３２％） （ ７０％） （ ４９％） ≥ ≥ ≥ 用量 ３３８４ ２５６８ ２０５０ １１８０ １２４０ １６５０ ６０ ２　生产工艺流程 ３　主要污染物及治理措施［８］ 改良西门子法引进德国Ｓｉｔｅｃ成套工艺包。在 ３１　废气及治理措施（见表２） ［６］ ［７］ ３１１　有组织废气排放 此工艺中氯硅烷被闭路循环 ，综合利用 。工艺 流程如图１所示。 图１　生产工艺流程及产排污环 ３６ 　　　　　　　　　　　甘　肃　科　技　　　　　　　　　　　　　　　　第２８卷 表２　废气排放及治理情况 序号 　　排放源 　废气名称 　　主要污染物 　　污染处置措施 方式及去向 １ 原料硅粉加料仓 粉尘 （硅）粉尘 布袋除尘 １５ｍ排空 ２ 废气处理系统 工艺废气 氯化氢 １５％ＮａＯＨ溶液洗涤 １５ｍ排空 ３ 产品后处理及硅芯制备 酸性废气 氮氧化物、氟化物 ３０％～３２％ＮａＯＨ溶液洗涤 １５ｍ排空 ４ ＨＣｌ合成工序尾气吸收塔 事故排放气 氯化