一种S型直线压电电机地研究.pdfVIP

第五届全国振动利用工程学术会议暨第四次全国超声电机技术研讨会  The Fifth Conference on Vibration Utilizing Engineering in China The Fourth Workshop on Ultrasonic Motor Techniques in China （CVUEC WUMTC2012 ）   34 一种 S型直线压电电机的研究   张胜 黄卫清 于官印 （南京航空航天大学航空宇航学院 江苏 南京 210016 ）   摘要：提出了一种基于尺蠖原理的S型直线压电电机，.对电机结构及运行原理进行了分析。对电机的定子进行模态分析，同时 分析单片定子的动态性能，并对实验结果进行评价。对设计的电机输出性能进行实验测试，实验测得该电机在驱动电压100V、 驱动频率20Hz 下，单步位移0.6μm、速度为25μm/s。实验结果表明该电机具有比较好的运动稳定性。 关键词：压电直线电机；尺蠖原理；压电叠层压电陶瓷；箝位     的直线型步进电机，开环分辨率可达 0.03nm[6] ；国 0   引言  内从事这方面研究的机构有上海交通大学、广东工业 大学、吉林大学、哈尔滨工业大学等  [7] ，在定位精 近年来，随着科学技术的不断进步，微/纳米技 度和实现产品化阶段与国外还存在差距。通过本课题 术的应用得到迅猛发展，众多工程和技术领域的研究 的研究，改善压电步进精密直线电机输出性能，降低 都迫切需要亚微米级、微/纳米级的超精密驱动。随 该类型电机的制作成本，为以后的广泛应用做铺垫。  着材料科学的发展，新型功能材料为这些研究提出了 但目前基于尺蠖原理的压电电机研制中存在的 新的解决方案，如记忆合金电机、压电效应电机、电 一个问题是箝位足间距较大，对动子的加工精度要求 致伸缩电机和磁致伸缩电机等。其中，由于压电材料 较高，同时系统结构复杂，此外目前基于尺蠖原理的 PZT）相对优越的性能，非常适合作为精密电机的 （ 压电电机通过调节定子和动子之间的预应力或间距 [1] 动力转换元件 。  来调节箝位力，因此几乎没有断电自锁的能力。  基于尺蠖原理的精密电机采用的是一种仿生型 本文设计开发出一种 S 型直线压电电机，有效解 的工作原理，利用“箝位‐驱动‐箝位”的方式运动， 决上述问题，通过分析该电机的结构及运行原理，建 类似于生物体的步行运动，具有驱动电压低、直接输 立了电机的系统动力学模型。并通过结合理论分析及 出大变形的特点，避免了由共振所引起的输出性能的 实验研究详细分析了电机的动态特性。  强烈非线性，增强对环境的适应性，驱动力大，分辨 率高，有效的提高了器工作寿命和可靠性，增强对环 1  工作原理   境的适应性，驱动力大，分辨率高，可达到纳米级， 有效缓解了大行程和高分辨率的矛盾[2] 。但由于电机 的箝位是靠叠层压电陶瓷的微量伸长和驱动足