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能型纳米级超精密抛光机的研究毒
赵萍’，袁巨龙2·3
10014，杭州)
l(浙江工业大学职教学院，3
2(浙江工业大学机电学院，310014，杭州)
3(杭州智邦纳米技术有限公司，310014，杭州)
摘要：研制了一种采用修．ff-J环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密
抛光机，用于超精密平面抛光．本文介绍了其设计原理、运动模式，专家控制系统的设计与实现，
加工结果表明该型抛光机可将加工余量去除误差控制在lnm以下，并获得表面粗糙度小于0．2nm的
平面．
关键词：抛光，修正环，专家数据库，纳米，智能
of MachineatNanometerLevel
Development
Ultra-precisionPolishing
Basedon
IntelligentControlling
Zhao Yuan
Pin91。 Julon92·3
1(The ofVocationalandTechnical
College University
Education，ZhejiangofTechnology,
Hangzhou，Zhcjiang310014，People’SRepublicofChina)
2(The ofEiectromechanical
College Engineering,ZhejiangUniversityofTechnology,
100
3 1 of
Hangzhou。Zhejiang 4，Peoples China)
Republic
Sino·Brain Co．，Lid．，
3(HangzhouNanotechnology
00
31 1 of
Hangzhou，Zhejiang 4，People’SRepublicChina)
Abstract：An Machine to
Ultra-precisionPolishing isdeveloped，withconditioningring condition
insitu，and database is can thesurface
polishingpad expert controllingsystemapplied，whichrectify
ofthe toNanometerLevel．Thisdiscussesthe
roughnessworkpieceup paper design
of
and
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