聚脂膜衬底上类金刚石薄膜的XPS的研究.pdfVIP

2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 聚脂膜衬底上类金刚石薄膜的XPS研究 吴正龙”1’王平…张通和…吴瑜光‘2’ (1)北京师范大学分析测试中心北京100875 (2)北京师范大学低能核物理研究所北京100875 形成了类金刚石薄膜。根据Cls XPS谱直接计算出了sp3的含量。与衬底PET相比，表面薄膜硬 度提高了1个量级。 1引言 聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)薄膜是应用很广的有机聚合材料，但其表面为疏水性，且硬 度低，抗静电性、耐磨损性和导热性都很差。为此人们在PET表面进行各种改性处理。在PET 表面镀类金刚石(DLC)膜可改变其性能，因为DLC具有硬度高、导热性好、光滑等优点。我们 利用北京师范大学低能所研制的MEVVA离子注入机，在PET表面注入碳(c)或沉积C，希望 能改善PET表面性能。本文主要用XPS测试技术对制备的DLC／PET薄膜进行了分析表征。 2样品制备与实验条件 PET选用电子工程领域中广泛使用且价格低廉的聚脂膜，已有研究111表明，注量达到10”cm。 量级时，改性效果才会明显。为此，我们选用了C注入量1X10”cm。3和2X10”cm一，分别制备了 制备3个样品时的衬底温度均为常温。 采用x光电子能谱(XPS)对制备的3个样品进行了分析。所用仪器为北京师范大学分析测 ESCALAB 试中心的VG 7Pa。 器分析室真空度5Xlff 3结果与讨论 XPS是目前表征DLC薄膜中最为常用和有效的技术之一。可通过XPS谱直接计算出DLC中 XPS结果和计算拟合结果。如图la， sp3和sp2的组分”“J。图1为衬底PET和3个样品的Cls PET的Cls 别得sp2，sp3以及碳氧(C 散射效应，计算时采用Shirley本底扣除法。这一结果表明PET表面注入C或沉积C后形成了DLC 薄膜。对于1#和2#样品，随着注量的增加sp3的含量稍有增加。对于3#沉积样品，其表面sp3 +擅长于电子能谱分析．Email：wuzhenglon936@sina．com 2003年10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 的含量明显高于注入样品。 硬度测量结果也显示了样品表面已形成了DLC薄膜。用显微硬度计测量了斜、3#样品和衬 的高sp3组分量有关，与XPS测量出的sp3组分变化相符。 XPS结果也表明样品表面明显存在着碳氧化合物，OlsXPS谱(未示出)更明显。这些可能 会影响DLC的形成。 4结论 的形成，sp3含量达到60％。与衬底相比，在PET表面注入或沉积C，硬度提高一个量级。硬度 的提高与sp3的含量有关。 参考文献 38(6)276． [1]1吴瑜光，张通和，刘安东等．北京师范大学学报(自然科学版)2002 et P’TabbalM，ChakerM 【2】Merel T WLimP a1．Journal solid Y．ManE K，et 1999，254：156-160 [3】Leung ofNon—crystalline ．255-