强激光宽带扫描转镜的傅里叶光学的研究.pdfVIP

强激光宽带扫描转镜的傅里叶光学的研究.pdf

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第29卷 增刊 中 国 激 光 Vol.A29,Suppl 2002年 6月 CHINESEJOURNALOF June,2002 文章编号:0258-7025(2002)Supplement-0321-03 强激光宽带扫描转镜的傅里叶光学研究 李俊昌,2‘郑启光2马瑕1,2石世宏2 {_ ‘昆明理工禅理学翩舫,昆明650093 } 、‘中国科技大学激光技术国家重点实验室,武汉4300741 提要 用标量衍射理论详细讨论一种强激光宽带扫描转镜,导出任意激光束通过光学系统后任意给定观察区域的 瞬时光束功率密度分布。当给定激光处理工件的运动速度及工件表面对光能的吸收特性后,研究了给定时间间隔 内材料表面吸收能量的分布及计算实例 关键词 光束变换,衍射计算,材料表面改性处理 中图分类号 4)〔38.2 文献标识码 A FourierOpticalStudyonWide-bandScanningRotatingMirror ofHighPowerLaser LIJun-chang2ZHENGQi-guang2MAKunt2SHIShi-hong2 ~Institute,K-ingUni}ityofScienceand妙nokgy,K鹦ing650093 ___) r(NationalLaboratoryolLasertechnology,HuazhongUnir-ntyofxiaucasand1ethnology,Wuhan43UU74/ AbstractAkindofvride-bandscanningrotatingmirrorofhighpowerlaserisdisco- indetailbyusingscalardiffraction thoeryinthispaper.Thetransientpowerdistributionoflaserinanyobservedregionhasbeenderivedforthearbitrary laserbeampassingthroughtheopticalsystem.Giventhetranslationvelocityandlaserabsorptivityofviorkpieceinthe lasertreatment,thedistributionofenergyabsorbedbythesurfaceofworkpieceingiventimeintervalisinvestigatedand thecalculatingexen”二lehasbeenfinished Keywordslightbeamtransformation,diffractioncalculatino,lasersurfaceprocessingofmaterial 1光学系统简介 动时,则能够获得一个均匀的宽带热作用区。 iun+,ml 图l为强激光宽带扫描转镜,是20世纪80年代 末意大利研究人员提出并申请了专利的一种光学系 统!1.z]。图中,被变换光束自上而下穿过透镜-I,,经 45反射镜M,反射后投向一个高速转动的扫描转镜 MZ。Mz由N片形状相同的梯形元平面反射镜组 成,它们依次镶贴于一个底角为45的圆台形转盘侧 面上。装置工作时、转盘的高速转动使反射光形成 一扇形扫射光束。如果通过设计,让激光处理的材料 表面邻近于扫描光束的焦平面,通过一定反复扫描周 图f宽带扫描转镜原理及坐标定义(长度单位为二 》 期的热作用后,材料表面将形成一个狭窄的均匀热作 Fig.ITheschemeofwide-bandscanningrotating而~ 用带。当工件沿垂直于扇形光束的扫

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