PSD测量二维空间发光点位置地研究.pdfVIP

PSD测量二维空间发光点位置的研究 李成1，丁天怀1，耿世钧2，张晓芳3 i精密仪器s枫槭学系．清华大学．中国北京lo0084．联系电话：010 300130联系电话：022 2机械电子sI程系．#7iti“kJc 3光电I程系．jt京理I大学100081联系电话：010 e-mail：li-c02@mails．tsinghua．edu．cn [摘要]介绍新型光电位置传感器PSD在二维空间点光源位置测量中的应用，点光源根据建立 的坐标系，在万工显水平面上做X、Y方向的位移，位移的变化使PSD的输出按一定关系变化， 采集，由图形化编程软件LabVIEW进行数据处理和点光源的二维位置计算。最后分析了实验 存在的问题、改进措施以及PSD在应用中应注意的问题。攘个二维测量系统的总误差为 当的实用性和研究价值。 [关键词]PSD背景光点光源位置测量LabvIEw 引言 在当前众多的自动检测物体位置探测器中，比较常用的方法是利用导轨式坐标测量机或 CCD光电耦合器件捕捉物体的图象，并通过图象采集的方法确定物体的位置。但对于测量平 面上某一发光点的位置，PSD光电位置探测器由于具有更高的分辨率和可组成高性价比的测 量系统而具有优势“J。 日本、英国等发达国家在PSD研究和制造方面已具有相当高的水平。在国内，有关PSD的报道 出现在70年代，并且目前PSD还处于研究和发展阶段“1。目前PSD应用于枪管振动、箭弹扰 动、距离探测、医疗仪器、机器人视觉，长直导轨检测、身管弯曲度测量51，这些应用研究大 都处于原理性探索阶段，真正将PSD应用到检测中并且各有数据采集、数据处理、、结果输出的 实时光学坐标测量检测系统，在国内涉及较少。因此以PSD为位置传感器的坐标测量仪的研究 具有很大的价值意义，可以形成一种手持式无导轨轮廓测量仪，如对汽车自身进行车间内实地 测量，具有体积小、结构简单、简化操作、实时性以及性价比高等特点，具有较好的应用前景。 PSD测量=维空间发光点位置的研究是光笔式无导轨三坐标测量仪的组成部分。 1．测量原理 光学系统是本套坐标测量系统装置中的重要 组成部分。由于柱面镜只在其径向对光线有会聚作 1、，— 用，在与光轴垂直的母线方向上对光线没有会聚作 用，这样就很容易实现角度的测量。在PSD的有效 视场范围内，点光源S在柱面镜的焦平面上成像为 ＼＼ 垂直于PSD光敏面长度方向的一条亮线，设该亮线 与PSD光敏面的几何中心点之间的距离为，’0，02 柱面镜 之， 为柱面镜光轴，像点S，02S4的距离r可以测得， 图一一维PSD角度测量原理 第八届全国敏感元件与传感嚣学术会议论文集 于光轴的偏离角度，正负号表示点光源S相对于光轴的方向。 基于角度测量原理，建立如图二所示的单个点光源二维坐标系，PSDl几何中心设为坐标 原点O，，PSD2几何中心 02之间的距离 为02，Ol 为do，二者连线设为X轴。 OOl、002分别为两套光 学系统的光轴，与x轴的 夹角分别为Bl、B2，13l、 B2、do为工作支架的设 计安装角度”J。在PSD视 场内，点光源S经柱面镜 分别在两PSD的光敏面 上成像为Sl、S2。01SI、 02S2为像点在像面的高 度，设为T1、T2。S点对 应的两条主光线交X轴于 lit-单个点光源二维坐标系 点A、点B，且分别与光 轴001、002夹角为01、02，与x轴夹角为ol、、CI2，A、B两点之I司的距离设为d。则由图 中对应的几何关系可确定点S的二维位置。 01=arclg争 (1) 如=嗍争 (2) (3) Ja明2=。3岛2+-岛02 d=do+f(nslnna022