光瞳滤波提高点线图形光刻分辨率的研究.pdfVIP

光瞳滤波提高点线圈形光刻分辨率研究+ 陈旭南石建平罗先刚康西巧 (中霄科学陵光电技术研究所簟■加工光学技术翻毫t点麦奠宣戚都610209) 擅要为进一步挺高帮分相干投髟戚像系统的光捌分辨事和焦蠢。详■研究了光■蠢馥的基奉曩论，培出教学模型-进 行曩斟计算。取糟计算嫱果和宴羹结果．I论分析和安t麓蕞衰啊．光●■渡奠量薯曩‘投●成像曩统光捌分辨车和焦捧． 是一种比较有效撬毫光捌分辨奉豹涟簟T程技术． 关■调光■漳教授髟戚健光刺系统点蟪田形分辨率和蔫并J 卜 引 言 为进一步提高投影成像系统的光刻分辨率与焦深，进行了相移掩模、离轴照明、以 及滤波等波前工程技术研究，对于滤波在国外进行了一些研究Ⅲ口]。但在研究中，它们 所用的方法大多为传统振幅型滤波，阻挡了一部分成像光线，光能量未被充分利用，滤 波的潜能未得到充分挖掘．我们采用的滤波方法是光瞳相移滤波法，在提高点线图形分 辨率和焦深同时，又可提高光能利用率．文章从部分相干基础理论出发，给出成像数学 模型，并进行模拟计算和实验，以计算和实验结果验证。