惯性式压电陶瓷驱动器驱动电源的研究.pdfVIP

压电与声光 2001年增刊 文章编号：1004-2474(2001)S0-0442-03 惯性式压电陶瓷驱动器驱动电源研究 刘华，颜国正，丁国清 (上海交通大学信息检嗣厦仪器系820研究所。上海200030) 摘要z研究了一种压电陶t驻动嚣的驱动电源，蛤出了详细的电路图，分析了如何实现特殊的驱动电源。谊驱动 电源蛄构简单。可以产生方波、三角波、正弦波和锯齿波，频率、占空比和电压幅值可以调节，完全满足惯性式压 电陶瓷驱动嚣特殊电潭的要求． 关键词；压电陶瓷取动嚣；取动电潭；波形 文献标识码lA 中圈分类号：TN732．7 卜 Researchon PowerforInertialPiezoelectric Driving Actuator LIU Hua，YAN Guo-zheng,DINGGuo-qing ofDepartmentofInformationMeasurement 1820Institute 200D30,China) Abstracts：This akindof for inertial actuator．Thecircuit is paperp”sents drivingpower piezoelectric diagramproposed． Thiskindof is can accurate and waveformswitha drivingpowersimple．Itproduce sine。square,triangle,sawtoothpulse minimumofextemal andthe ofthewavecanbe inawide components·Thefrequency,thedutycycle amplitude adjusted range．ItCallmeettheneedsofinertialactuator． piezoelectric Keywords：piezoelectricactuator；drivingpower；waveform 1引言 针对不同的压电致动器，要充分利用压电材料变 形，则施加在压电材料上的外加电场必须满足一定条 微机电系统(MEMS)是当前科学研究的一个重 件。一种压电材料的驱动电源是锯齿波(三角波)，其 要的方向，MEMS结合了电子工程、机械工程、材上升沿和下降沿应具有相差较大的斜率，实现这种波 料学科、物理学等学科与技术，MEMS并不是单纯形的方法较多，我所研究的惯性式压电陶瓷驱动器就 的宏观机械结构微小化，它开辟了一个全新的理论和 采用了一种新型驱动电源，这种驱动电源所需的外加 技术领域，微型机械包括微型机构、微型传感器、微 元器件较少，能实现多种不同的电源波形，经功率放 型致动器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯 大后，完全可以满足试验的要求。 和电源于一体的微型系统。MEMS由于其体积结构2惯性式压电陶瓷驱动器驱动电源接 的优点，广泛应用于工业、生活、医学、航空等领域。 线图 MEMS的研究包括